第四课 气压器7250xi使用说明书.pdf

7250 压力控制器 操作说明 7250 压力控制器中文说明 1 目录 1．1 概述…………………………………………………………………………………5 1．2 基本信息 1．3 特性 1．4 标准配置和选件……………………………………………………………………6 2 操作原理………………………………………………………………………………7 2 ．1 概述 2 ．2 电源 2 ．3 电气模块 2 ．3 ．1 后面板 2 ．3 ．2 微处理器板 2 ．3 ．3 数字控制板 2 ．3 ．4 IEEE-488 接口…………………………………………………………………8 2 ．3 ．5 前面板 2 ．4 气动模块……………………………………………………………………………9 2 ．4 ．1 气动测量模块…………………………………………………………………11 2 ．4 ．1．1 参考口 2 ．4 ．1．1．1 气压传感器 2 ．4 ．1．2 测试口 2 ．4 ．2 气动控制模块 2 ．4 ．2 ．1 气源压力口 2 ．4 ．2 ．2 真空源（Exhaust ）口 2 ．4 ．2 ．3 压力控制 2 ．5 控制原理…………………………………………………………………………12 2 ．5 ．1 内环和外环控制回路 2 ．5 ．2 正常模式 2 ．5 ．3 快速模式 2 ．5 ．4 内环和外环同时控制 2 ．5 ．5 PID 控制 2 ．6 传感器模块………………………………………………………………………13 2 ．6 ．1 石英波端管传感器（01 传感器） 2 ．6 ．2 传感器板块 2 ．6 ．3 线性 2 ．6 ．4 辅助传感器 2 ．6 ．4 ．1 真空传感器 2 ．7 软件………………………………………………………………………………14 2 ．7 ．1 安全因素 2 ．7 ．1．1 防止操作错误 2 ．7 ．1．2 气动错误 2 ．7 ．1．3 关断 7250 压力控制器中文说明 2 2 ．7 ．1．4 炉温控制 2 ．7 ．1．5 压力值读取和校正 3 安装……………………………………………………………………………………16 3 ．1 概述 3 ．2 拆除主机包装 3 ．3 注意 3 ．4 打开主机电源 3 ．4 ．1 Observing the dpc’s full scale rating 3.5 气动连接……………………………………………………………………………17 3 ．5 ．1 气源压力口 3 ．5 ．2 排气口 3 ．5 ．2 ．1 绝压模式 3 ．5 ．3 测试口 3 ．5 ．4 参考口 3 ．5 ．5 真空传感器的安装……………………………………………………………18 4 本机操作………………………………………………………………………………21 4 ．1 指南 4 ．1．1 选择语言………………………………………………………………………23 4 ．1．2 选择操作模式 4 ．1．2 ．1 模拟绝压 4 ．2 主菜单 4 ．3 控制压力…………………………………………………………………………24 4 ．3 ．1 设置压力点 4 ．3 ．2 进入/退出压力控制模式 4 ．4 排空………………………………………………………………………………25 4 ．5 步进/连动 4 ．5 ．1 步进模式 4 ．5 ．1．1 设置步进值 4 ．5 ．2 连动 4 ．6 菜单………………………………………………………………………………26 4 ．6 ．1 菜单| 设置 4 ．6 ．1．1 菜单|设置－极限 4 ．6 ．1．1．1 上限值 4 ．6 ．1．1．2 下限值…………………………………………………………………27 4 ．6 ．1．1．3 自动排空 4 ．6 ．1．1．4 控制阈 4 ．6 ．1．1．5 控制 4 ．6 ．1．1．6 压力变化率 4 ．6 ．1．1．7 压力变化率极限 4 ．6 ．1．1．8 Access 4 ．6 ．1．2 Menu | Setup – User