俄歇电子能谱分析方法和应用.pdf

釉 告 - 19B 2 电子元件与精：料 I陆。1．．8№1％．39 俄 歇 电子 能谱 分 析 方。 法 及 其 应 用 天津大学 壬 文 生 I掮曩】国内从l98O年开始引进7多台俄歇 电子能谱分析仪器。丙7让巩事电 子材料建元器件科研和生产方面的科技人 员了解这种分析方法的工作原理、仪 器蛄 构和具体应用，在工作 中建时地应用这种方法，奉文拟就上述几个方面作一些简要 的介培。 一 、 苗 育 1 h ‘ 俄歇 电子能谱 (AES)分析方 法 是 最 L·—●— ●一●——●__ ／ L，———— ·—— ·—一 近十多年来迅速发展起来的 电子材料与元器 L．————·—— ·一 x射 {璺 件现代分析方法之一 。由于它具有分析速度 f 快、准确l度高、灵敏度高、消耗样品少及能 分析材料的成份，含量和化学状态等特点， 因此，在 电子材料和元器件的科学研究、生 田 i 蕾t藏应屎理哥 产制造，特别是在失效物理的微观分析方面 种过程就是俄歇效应，跑到真空中去的 电子 得到广泛的应用 。 称为俄歇 电子。 这 样， 处于激发态的原 子 ’可通过上述两种途径迭到稳定状态 ； =、俄t效应曩特点 A+．／X射线光子 (hY)一A 俄歇效应是法国科学 家 俄 歇 (M．P． ＼俄歇 电子 (e^)一A + ’ Auger)研究光 电效应时发现的一种物理现 俄歇 电子在 L层上的束缚能为 ￡，在 真 空 象，并用他的名字来命名这一物理现象，故 中动能为 ，根据能量守恒原理可得到 。 称为俄歇效应 。 俄歇效应的物理过程如图 1 + ￡；EK— L 所示。当能量为几千 电子伏的八射 电子京与 ．．． E ：EK—FL— ￡ (1) 周体中某一原子相互作用时，将原子最 内层 K 上的一个 电子激发 电离，在K层上形成了 山于某一元素原子各个壳层上 电子的能 一 个 空 位， 这时原子处于不稳定的激发状 量 、 及 ￡等均有不 同的特征值 。 所 态 } 以只要测 出俄歇 电子e 的动能 ，就能鉴别 A — e— A ‘ 出此原子为某一种元素。这就是和用俄歇效 L层上 的一个 电子跃迁到 K 层 的 空 位 应进行元素鉴别的基本原理，这种方法有时 上，并释放出能量 (EK—E )。 这部分多 称为指纹法。 余的能量可转换为 X射线， 以光子的形式释 从上面讨论 中已清楚地看 _』，俄歇效应 放出来，也可将 L层上另一个