原子力显微镜的压电陶瓷非线性及图象畸变的校正-光子学报.PDFVIP

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2018-08-17 发布于天津
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原子力显微镜的压电陶瓷非线性及图象畸变的校正-光子学报.PDF

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原子力显微镜的压电陶瓷非线性及图象畸变的校正-光子学报

31 10 Vol31 No10 2002 10 ACTA PHOTONICA SINICA October 2002 张冬仙章海军 ( , 310027) 研制了卧式原子力显微镜( AFM) 系统, 讨论压电陶瓷的非线性及AFM 图畸变的软件校正方法提出利用光束偏转法精确测定X Y 扫描器压电陶瓷的伸长量与控制电压之间的相互关系, 得到压电陶瓷的非线性曲线; 根据非线性的偏离程度, 通过扫描软件对X 和 Y 方向的扫描电压作逐点补偿, 据此有效地校正图畸变并给出分别用未校正软件与校正软件扫描获得的部分样品的AFM 图 AFM ; 非线性; 图畸变; 校正 0 , AFM , 1 2 ( ST M) ( AFM) , , , AFM , , , , , STM AFM AFM 1 ( ) , , , ( PZT) , PZT X Y , ; : , , ; , , ; PZT ; , 3 PZT , , 11 , , PZT , , , 1V, nm, PZT , , , , , AFM nm , , , AFM 收稿日期: 2001-12-31 10 1253 5 PZT , , , 1PZT , PZT PZ