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战略性先进电子材料点专项2018年度项目申报指南建议
附件9
“战略性先进电子材料”重点专项
2018 年度项目申报指南建议
为落实《国家中长期科学和技术发展规划纲要
(2006-2020 年)》和《中国制造2025》等提出的任务,国
家重点研发计划启动实施“战略性先进电子材料”重点专项。
根据本重点专项实施方案的部署,现提出2018 年度项目申
报指南建议。
本重点专项总体目标是:面向国家在节能环保、智能制
造、新一代信息技术领域对战略性先进电子材料的迫切需
求,支撑“ 中国制造2025” 、“互联网+” 等国家重大战略目标,
瞄准全球技术和产业制高点,抓住我国“换道超车” 的历史性
发展机遇,以第三代半导体材料与半导体照明、新型显示为
核心,以大功率激光材料与器件、高端光电子与微电子材料
为重点,通过体制机制创新、跨界技术整合,构建基础研究
及前沿技术、重大共性关键技术、典型应用示范的全创新链,
并进行一体化组织实施。培养一批创新创业团队,培育一批
具有国际竞争力的龙头企业,形成各具特色的产业基地。
本重点专项按照第三代半导体材料与半导体照明、新型
显示、大功率激光材料与器件、高端光电子与微电子材料4
个技术方向,共部署35 个研究任务。2018 年,拟启动5 个
研究任务10 个项目。专项实施周期为5 年(2016 - 2020 年)。
- 1 -
1. 第三代半导体新结构材料和新功能器件研究
1.1 超宽禁带半导体材料与器件研究(基础研究类)
研究内容:开展金刚石、氧化镓、氮化硼等超宽禁带半
导体单晶衬底和外延材料的生长、掺杂、缺陷控制和光电性
质研究;开展材料加工和器件制备的关键工艺研究;开展基
于上述超宽禁带半导体材料的高性能器件研制。
考核指标:金刚石半导体单晶衬底和外延材料直径≥2 英
寸,掺杂金刚石p 型空穴浓度≥11018 cm-3 、n 型电子浓度
≥11016 cm-3 ,非掺杂金刚石室温电子和空穴迁移率分别为
2 2
3000 cm /Vs 和2500 cm /Vs ,研制出金刚石原型电子器件和
深紫外光电器件;氧化镓单晶材料直径≥3 英寸,位错密度
4 -2
≤ 10 cm ,研制出氧化镓MOSFET 器件,击穿电压≥ 1000 V,
2
导通电阻≤2 m▪cm ;制备出高质量氮化硼外延薄膜,研制
出波长≤230 nm 的氮化硼深紫外光电探测器。申请发明专利
15 项,发表论文20 篇。
1.2 氮化物半导体新结构材料和新功能器件研究(基础
研究类)
研究内容:研究氮化物半导体纳米线的可控外延和量子
点的嵌入式外延,基于量子点结构的单光子发射器件;研究
氮化物半导体子带跃迁量子阱结构的外延生长和紫外、红外
双色探测器件;研究氮化物半导体太赫兹发射和探测器件;
研究氮化物半导体自旋性质及自旋场效应晶体管。
- 2 -
考核指标:实现基于氮化物半导体量子结构的光泵浦紫
外或蓝光波段室温工作单光子源,二阶相关度≤0.3 ;GaN 基
3~5 μm 红外探测器件工作温度≥77 K ,实现紫外红外双色探
测器件的单片集成;实现≥0.3 THz 室温工作的GaN 基太赫
兹发射和探测器件,发射器件输出功率≥8 μW ;实现氮化物
半导体自旋场效应晶体管原型器件,自旋注入效率≥8% 。申
请发明专利15 项,发表论文20 篇。
1.3 第三代半导体新型照明应用关键技术研究(基础研
究类)
研究内容:研究激光照明用第三代半导体激光器;研究
适用于激光大功率密度激发的荧光材料,研制激光照明光学
系统和应用产品;研究基于单芯片技术的全光谱白光照明材
料和器件;开展非晶衬底、石墨烯等插入层上高质量氮化物
半导体的外延生长研究和器件研制;开展基于新型有机无机
钙钛矿材料的高效LED 研究。
考核指标:实现激光暖白光照明(3000±300K )到冷白
光照明(6000±300K )范围内的色温可调,显色指数达到85,
开发出车用激光照明应用产品;单芯片全光谱白光器件效率
≥100 lm/W ,显色指数达到90 ;基于新型非晶衬底的氮化镓
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