半导体操作维护说明.doc

半导体 操作维护说明书 南京凯旋电子光学仪器有限公司 南京凯旋电半导体规开顺1、打开环2、打开总电开关电开关3、打开激电开关，钮当数.0时将钮标电4、打开Q驱动电将钮调设频5、启动计打开打标软调开始关顺 1、关闭计2、关闭Q驱动电变况无须将频率调3、将电钮旋至打开时始电.0），按下红开关，关闭电开关4、最后关闭环电别项环环须换环须纯净换时净开须先开环关时须最后关闭环4、 每次关断电须先将电钮旋至打开时始电.0 方可按下红开关，关闭电开关、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、 本系统由激光器、、、、、、、、、、、Δλ=0.0047A°,而单膜稳频氦氖激光的谱线宽度可达到Δλ=10 A°。 (2)方向性好:普通光源发光向四方八面辐射,而激光是相当好的平行光束,发散角在毫弧度数量级。 （3）高亮度：毫微秒宽度的脉冲激光，亮度高达10 瓦/厘米2立体弧度，而太阳表面的亮度才2×103瓦/厘米2立体弧度 。 （4）相干性好：光的相干性和单色性密切相关，普通光源中最好的单色光源半导体光源，相干性只有几百毫米，氦氖激光相干长度理论上可达到100公里以上。 2激光器的基本组成(各部件位置见附图) 基本的激光器由前腔片，后腔片，聚光腔，连续半导体光源，YAG激光晶体,Q开关所组成。 本机采用的是平行平面腔，即前后腔片都是平面腔片，对着聚光腔的一面镀有反射膜，后腔片膜层的反射率R=100%，前腔片的膜层反射率根据激光器用途的不同在15%-90%之间。本机前腔片膜层反射率R=85%。 半导体系列激光打标机采用的是固体激光器，激光物质是YAG，学名掺钕钇铝石榴石，YAG产生的激光波长为1.06微米，是肉眼看不见的红外线。半导体光源和YAG激光晶体都被仔细地安装在聚光腔内，为了能够稳定安全地固定好激光晶体，晶体的两端事先要仔细地用胶固定在棒套内。 聚光腔的内部是一个剖面为双椭圆的空腔，内壁由玻璃或金属制造，内表面镀有银层或金层，也有用高分子材料，陶瓷等非金属材料制造的，它能够最大限度的把半导体光源发出的光能传递给YAG晶体，提高激光效率。 激光是经过前腔片射出的，但这时的激光只是直径几毫米的光斑，不能直接用于生产，还要经过扩束，转光，聚焦等等，最后才能作用在工件上。有时候为了提高光束质量，减少激光发散角，在前后腔片之间的某个位置安放一个或两个开有不同孔径小孔的光阑。由于加工对象的不同，有些被加工件需要很高的功率密度，这时需要采用在光路中加装Q开关的方法，它使得激光脉冲被压缩，激光的峰值功率提高了2-3个数量级，甚至更高。Q开关有主动和被动两种，本机采用的是主动Q开关，它是由一种特殊的晶体制作的，具有调试简单，安装方便，不易损毁的特点。 由于激光肉眼不能直接观测到，又难以用工具测量，因此在激光调试和激光加工时，通常借助于氦氖激光器，氦氖激光器工作时发出一束波长为0.6328微米的红色可见激光，这就使得激光器在调试和工作时有了基准。 3激光光路和光学器件的安装与调整 光路是指准直光从氦氖激光器的一端射出经过后腔片，YAG激光晶体，前腔片，扩束镜，聚焦物镜，保护镜片，最后到达打标零件这一段光学路程。一个调整好的光路可以这样描述：即氦氖激光器所发出的准直光始终贯穿每一个光学器件的中心，这就是激光光路调整的核心。由于各种光学器件的安装和调整的要求各不相同，下面分别介绍： 氦氖激光器的安装和调整 氦氖激光器是用于激光准直调整的，它的安装是否正确直接影响到激光的效率，它发出的是红色的可见光。先固定好配套的光阑，仔细地调整氦氖管支架前后的调节螺钉，使光束与底版之间的距离符合图纸的要求，在日后的激光调整时不要轻易的去再动它。 前后调整架的安装和调整 前腔片在出激光的方向，后腔片和前腔片相对，镀膜层对着激光，准直光通过镜片的中心，安装时一定要注意，不能搞错。前后调整架安装好了以后，打开氦氖激光器，先用不透明的纸片挡在前后调整架之间，先调整后腔片，因为后腔片有前后两个反射面，仔细旋转调整架上的调节螺钉，让散射点逐渐收拢会聚于一点，然后将纸片置于前腔片前，按此法调整。 聚光腔的安装和调整 聚光腔安装时要求准直光通过棒套的中心（即YAG激光晶体的中心），要用一小张半透明的纸在棒套的两端分别进行观察，有时还要在聚光腔的底座下垫些薄金属片使准直光通过激光的中心，调整好后上紧固定螺钉。 扩束镜与Q开关的安装和调整 扩束镜与Q开关的安装和调整和聚光腔相似，要求准直光通过它们的中心。通过Q开关的光呈水平的散点分布。 五、激光强弱的调整 激光的强弱在打标中占有非常重要的因素，它直接关系到激光打标机的工作效率和打标质量，激光打标机的操作者和维修人员应当能很娴熟地掌握这项技术。 在确认激光准直没有问题以后，移开扩束镜和Q晶体，升高工作电