一种磁性薄膜石英音叉复合磁传感器研究.PDFVIP

一种磁性薄膜/石英音叉复合磁传感器研究* 曾婕, 文玉梅，李平，栗建中，张小花 重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室, 重庆 （400044 ） 摘 要：针对磁电层合式磁传感器Q值低的问题，提出一种磁性薄膜与石英音叉复合的磁传 感器结构，通过检测音叉谐振频率变化量或Q值变化量，达到检测静磁场的目的。采用有限 元方法对磁性薄膜的位置进行了设计和仿真，发现薄膜复合于音叉侧臂顶部有最灵敏的磁场 探测能力，并进行了实验验证。实验结果表明：敏感结构在零偏置磁场时Q值为2000左右， 在静磁场作用下，谐振频率最大灵敏度为9.233Hz/mT，Q值最大灵敏度为119.471/mT；谐振 频率分辨率为0.1Hz，石英音叉谐振频率稳定度为20ppm时，该结构磁传感器对磁场的分辨率 为10-5T；Q值分辨率为1，石英音叉Q值稳定度为20ppm时，该结构磁传感器对磁场的分辨率为 10-6T，高于测量谐振频率。即，测量Q值变化量来检测磁场的方式更优。 关键词：磁性薄膜; 石英音叉; 有限元分析; 谐振频率; Q值 中图分类号: TP212.13 文献标识码: A 0 引言 磁传感器是电子测量领域及发展高水平控制系统的关键器件之一，其应用领域包括电机 控制、工业机器人、医疗电子、自动化等。常用的磁传感器包括磁通门、霍尔元件、巨磁电 阻元件、磁电谐振元件等。磁电谐振式磁传感器是近年来磁传感器领域的热点内容。2004 年，文献 [1] 采用环形超磁致伸缩材料 Terfenol-D 和压电材料 PZT ，对 -9 Terfenol-D/PZT/Terfenol-D “三明治”结构复合磁传感器进行了研究，分辨率达10 T，该磁 传感器不能用于静磁场的探测。2005年，文献[2-3]研究了磁致伸缩材料和石英/LiNbO3构成 的复合磁传感器，灵敏度达60Hz/Oe，用于地磁场的测量。2007年，文献[4-5]曾提出将块体 压电材料和磁致伸缩材料复合到类似超声变幅杆的弹性基底上，构成一种三相磁电复合结 构，利用弹性基底的聚能和谐振作用，以提高磁电式传感器的灵敏度，但存在Q值低的问题， 设计一种具有更高Q值的磁传感器成为必然。 石英音叉体积小，尺寸为mm量级，在真空中的Q值高达几万，在空气中也能达到8000 左右，正是它的这个特性，保证了结构有很高的灵敏度，而且可以做得更加简单紧凑，易于 实现微型化。石英音叉在原子力显微镜和磁力显微镜领域已得到很好的利用[6-7]，但在磁传 感器领域却未见有文献报道。 本文提出将磁性薄膜复合于石英音叉上，构成一种音叉式复合磁传感器，用于直流磁场 的检测。当磁性薄膜材料和石英音叉切型与尺寸一定时，薄膜的复合位置是影响磁传感器性 能的主要因素，采用有限元分析方法对薄膜的复合位置进行了分析，找出对磁场最敏感的复 合位置，并进行了实验研究。 1 磁传感器原理 石英音叉是压电体，根据逆压电效应，在石英音叉的电极上施加一个电压，将引起音叉 的形变，当此电压为频率恰好等于音叉共振频率的一个交流电压时，音叉的形变将具有最大 值，即，发生谐振。磁性薄膜在磁场的作用下，将受到磁场力的作用，磁性薄膜与石英音叉 复合后，由于薄膜与音叉是粘贴在一起的，故，薄膜受到的磁场力作用将传递到音叉上，从 * 基金项目: 国家自然科学基金资助项目(No ; 国家高技术研究发展计划资 助项目(863 计划)( No.2006AA04Z337, No.2007AA12Z132) - 1 - 而作为音叉谐振的负载。音叉为DT 切型，结构如图1 所示。 图1 石英音叉图示