对流-扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响 effect of convective-diffusive mass transfer on coating uniformity electroforming.pdfVIP

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2017-11-02 发布于上海
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对流-扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响 effect of convective-diffusive mass transfer on coating uniformity electroforming.pdf

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对流-扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响 effect of convective-diffusive mass transfer on coating uniformity electroforming

and 2010年第29卷第8期传感器与微系统(TransducerMicrosystem 对流一扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响水陈晖，李光杨，汪红，王艳，丁桂甫，赵小林 (上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室。上海200240) 摘要：利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时，进行对流一扩散传质过程数值模拟，研究不同深宽比微结构中对流一扩散对传质的影响。模拟结果表明：当对流一扩散佳质成为控制步骤时，渗透流影响镀层基本形貌，回流会引起镀层形貌的微小起伏。关键词：微电铸；对流一扩散传质；渗透流；回流 153 中图分类号：TQ 文献标识码：A 文章编号：1000--9787(2010)08-)041-03 transferon Effectofconvective．diffusivemass coating ●n ■』 ● ●● ● 币 UnllormltVeleCtr010rmlng CHEN Xiaolin Hui，LIGuang—yang，WANGHong，WANGYan，DINGGui—fu，ZHAO for Film ofMicro／NanoFabrication Thin and (NationalKeyLaboratory Technology，KeyLaboratory of Microfabricationof of InstituteMicro／Nano TechnologyMinistryEducation，Research Scienceand Technology，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China) Abstract：MEMS are FLUENTsoftw3’。．Theconvective·diffusive micro-electroforminguniformityanalyzedusing masstIansfbreffectsinsidedifferent micro-structuresaresimulatedwhenthemasstransferturns high—aspect-ratio intothecontrol resultsofsimulationsshowthatwhenthemass iscontrolledby step．The transport mainly and flowwithinthe effectsthe andthevorticesfloweffects convection diffusion，thepenetration c