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6.2.4 前置放大器 由于压电传感器的内阻抗很高、输出电信号很弱，，。，。。 ，。：；，。：，，。，。 1.(阻抗变换器) 如图6.5压电传感器相当于一个电荷(电压)发生器和电容器。，，。，，，。传感器与测量仪器连接后要考虑电缆电容和前置放大器的输入电容和输入电阻的影响。，为了尽可能保持压电传感器的输出电压(或电荷)不变，，。，，，(或电荷)损失，。(a) 等效电路 (b)简化的等效电路 图6.8 与电压前置放大器连接的等效电路 传感器与电压前置放大器连接的等效电路图6.8(a)可简化成图6.8(b)。 由等效电路可知， 设作用在压电元件上的力为 式中， --。 因此 则 因此前置放大器输入电压的幅值为 输入电压与作用力之间的相位差为 在理想情况下，和前置放大器的输入电阻为无限大，R为无限大，， 这样， (6.1) 令 式中， 图6.9 电压幅值比和相角与的关系曲线 由此得到电压幅值比和相角与的关系曲线，。， ()时，。，。，，，。 时，输入电压可近似看作与作用力的频率无关。在低频，，，，。，， (6.2) 由上式可见，。，。，。，，。 ，(1000M以上)和很低的输出阻抗(小于100)。 图6.10是一种阻抗变换器，MOS型场效应管(3D01E)构成源级输出器，(3AX31D)构成对输入端的负反馈，。，是场效应管的偏置电阻；是一个100M的高电阻，是场效应管的漏级负载电阻；是源级接地电阻，的负载。反馈到场效应管的输入端，(对交流信号)电位接近相等，。和起保护场效应管的作用，。和随温度的变化。，。和是直接耦合，起稳定的固定偏压作用。是的限流电阻，使工作在稳定区。由于三极管有一部分电流流过，的漏源电流同相位，，。 ， 但是压电传感器在与阻抗变换器配合使用时，，(6.2)式知，，，。，，。 ，。。。，，，。，，，图6.11 超小型静电放大器(阻抗变换器) 图6.11是装入二片石英并联的加速度传感器中的超小型静电放大器(阻抗变换器)。MOS型场效应管源级输出器，。的集电极和发射极之间的动态电阻非常大，。，，，。(输出电压可达几伏)、低阻抗的信号。它既不需要特制的低噪声电缆，。，。，。 2. 电荷放大器能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，。，，~，100。，，。6.12 电荷放大器的等效电路 电荷放大器的等效电路见图6.12，是用高输入阻抗的MOS场效应管，构成深度负反馈的高增益放大器，图中k是放大器的开环增益，。，a点的电位接近“地”电位。，，Q只对反馈电容充电， 式中，----反馈电容两端的电压。，，。，，Q变化成线性关系的输出电压。，小，。，。 要使输出电压与电缆电容无关是有一定条件的，。。，折合到放大器输入端的有效电容为 可见，和折算到放大器输入端的电容的并联的等效阻抗。和反馈电容的漏电阻。和电缆电容，，Q不仅对反馈电容充电，。， 可见，。， 其他电容才能忽略不计。， 当大于十倍以上，。，，，，。。，，。，。 ，，，的容量可以做成选择的，100~10000pF之间。，。，，，。，，(约-)，，。 ，，，，。。 6.3 压电谐振式传感器40年代末开始研制，60。。，，，，，。 6.3.1 1.工作原理 压电谐振式传感器是利用压电晶体谐振器的共振频率随被测物理量变化而变化进行测量的。压电晶体谐振器常采用厚度切变振动模式AT切或BT切型的石英晶体制作。，，，，，。 图6.14 压电晶体振荡电路 石英晶体谐振式温度传感器属于热敏感型压电式谐振传感器。。，AT切、BT切晶片。，，。 Y，。/C到+100/C。X-切的晶体在厚度方向上振动时，20/C。可根据对频率温度系数的要求加以选择。 图6.15 LC切平凸透镜形谐振器 根据温度每变化1C振荡频率变化若干Hz的要求与晶体的频率温度系数来确定振荡电路的基本共振频率。，C频率变化1000Hz，0.001C，35.4C ， Hz 一种具有线性温度--频率特性的石英切型，LC切---- 的平凸透镜形谐振器。6.25mm，125mm时，28MHz (三次谐波)，。 2. 谐振器放置在充氦气TO-5型三级管壳内，133Pa。，，。10~9000Hz的频率范围内，g、振动加速度幅值达m/s的情况下，。：0.0001C，0.02C，0.05C(0~100C)，1s(在水中)。。 和两路的温度测量，-，，、或C的分辨率进行测量。，，1000Hz /C即为被测温度。 6.3.2