光通信用光电子器件结构、工艺和性能.pdf

光通信用光电子器件结构、工艺和性能 丁国庆,2012年5-6月 目 录 1 基本概念、定义和缩略语 2 光电子器件的分类及基本结构 3 光电子器件主要工艺制作 4 激光器光电性能及技术指标 5 探测器光电性能及技术指标 6 光电子器件的可靠性 7 结束语 1 基本概念、定义和缩略语 1.1 受激辐射的概念 1916年爱因斯坦提出了受激辐射的概念，它奠定了激光器的理论基础。 该理论指出，原子中处于高能态的电子，当受到一个能量等于两个能级 差的光子的作用 时，该电子将跃迁到低能态，并发射出光子。该光子是由于第一个 光子的感应作用而辐射射出来的。该过程称为受激辐射。如果受激辐射同时或连续 发生，输出的光就能得到放大。这种因受激辐射发出发射方向、频率、位相、偏振 完全相同的光，因此称为相干光。 1.2 激光 具有相同发射方向、相同频率、相同相位、相同偏振方向的光，称为激光，或受 激辐射、莱塞（Laser)。 1.3 受激光辐射条件 1) 外部能源 2) 增益介质 3) 谐振腔。 外部能源可以是电流、电压、光和高能粒子； 增益介质可以是气体、液体和晶体 谐振腔可以是平行平面（法布理-泊罗腔,F-P）、分布布喇格光栅（DFB)或外腔。 1.4 峰值波长和中心波长 ( Peak Wavelength and Center Wavelength) 在发射光谱中，辐射强度（或光功率密度）最大的波长，称为峰值波长。 在发射光谱中，最高强度（或幅度）的50%处两点中心所对应的波长，称为中心波长 1.5 光强度直接调制 ( Directly Modulation of Optical Power Density ) 调制电信号直接控制激光器驱动电流，使激光器输出光强度随调制电信号的幅度而 变化的一种调制方式。 1.6 光功率-电流曲线 (Optical Power-Current Curve ) 激光器输出光功率（P）和其驱动电流（I）之间关系（P-I）的曲线，如下图所示。 其中，B处为光功率- 电流曲线扭折（the kink ）点。 1.7 阈值电流 (Threshold Current) 物理上，把激光器发射荧光和激光的交界点相对应的电流称为阈值电流；数学上， 它为光功率- 电流（PL-I）函数二阶导数(d 2 2 P/dI )极值处所对应的电流。其示意图 如下图所示。 1.8 调制电流 Modulation Current 加于激光器偏置电流之上的、与传输信号相关的控制电流（Im）。它等于激光 器总驱动电流与偏置电流之差。调制电流与时间（Im –T ） 、光功率与驱动电流 （PO- I）关系曲线如下图所示。 1.9 光谱宽度 Spectral Width 激光器光谱宽度有三种不同的定义,即均方根谱宽（RMS）、光半高全（FWHM） 谱宽和-20dB下的谱宽。 对于MQW-DFB-LD，主要采用FWHM谱宽和-20dB下谱宽。 在标准工作条件下，用测得的比峰值波长幅度下降一半或下降20dB处、光谱曲线 上两点间的波长间隔来表征其光谱宽度。前者称之为FWHM谱宽（或称-3dB谱宽）, 后者称之为-20dB下谱宽。 1.10 边模抑制比 （SMSR， Side Mode Suppression Ratio ） 在最坏反射条件时、全调制条件下，激光器光谱中主纵模光功率峰值强度（Pm0 ） 与最大边模光功率峰值强度(P m1)之比的对数，即： SMSR =10 lg (Pm0/P m1) SMSR示意图如右下图所示. 1.11 光电转换 长波长光探测器作用原理 光探测器是把光信号转换为电信号（电压或电流）的半导体光电二极管，它是 探测器某种材料中处于基态的电子吸收了光子能量，转变为电子动能的过程。 如果涉及到光电转换的光波长在范围（1100-1600）nm范围,相对于（400-900