镀金手指金剥离原因分析修改版.docxVIP

TO：CC：ME工程试验报告主题:镀金手指金剥离原因跟进编号：类别：新物料新工艺新设备制程改善制程能力评估或提升√编制初审审核日期2016-05-26一、背景镀金手指线搬迁至东城后于3月30日开始正式试板生产，第一个试板型号为仿照作的金手指板，生产时按照0.8μm金厚来制作，共4P。试板3M胶带测试、孔隙率测试都OK。相关参数及结果见表1。表1：开线试板参数记录金镍厚要求受镀面积（inch2）线速度镍缸金缸金厚镍厚C面S面C面电压S面电压C面电流S面电流C面电压S面电压C面电流S面电流3.80.80.1860.1861.82.062.113.03.13.53.661.51.5表2：开线试板测试结果金厚镍厚受镀面积第一次第二次C面S面C面S面1.211.0339.2538.651生产至4月5日开始，工序反馈厚金板多出现剥离，同时伴有金面氧化。至4月10日以后，所有厚金型号均出现金镍剥离。且孔隙率结果也不OK。金面氧化金剥离孔隙率测试孔隙率测试图1：4/5-4/10问题板图片从问题板来看，剥离板呈如下特点：①、均为厚金板（金厚≥0.76μm）剥离，两面都有剥离；②、为金镍剥离，且剥离位置镍面光亮，无异常；③、部分型号3M胶带测试剥离，部分不剥离，但所有剥离板孔隙率测试结果均NG。二、过程排查2.1所有生产板测试结果排查对3月30日开始镀金手指线所有生产的型号按照加烘后孔隙率的方法进行排查，结果确认4月6日开始所有的型号已经出现异常，至4月10日之后100%异常。2.2 异常原因排查2.2.1孔隙率测试过程排查孔隙率的作用主要是通过硝酸腐蚀的方法，来监控金面晶格的致密性。当金面晶格疏松时，硝酸蒸汽会沿着金面空洞进入镍面，进而产生腐蚀，表观上为金面有被腐蚀的小黑点，严重的整个金面被剥离，裸露镍面。实际操作方法是：取一40mm×40mm左右的样片，使用异丙醇超声波清洗，风机吹干，放入剩有500ml浓硝酸的干燥皿中，时间1H。在实际跟进孔隙率测试过程中，偶会发现硝酸蒸汽中有大量的黄色盐雾产生，而正常硝酸应为无色透明。因此对孔隙率测试方法进行确认。2.2.1.1 异丙醇对硝酸蒸汽测试结果影响表3：异丙醇对硝酸根测试结果影响4月21日新开硝酸缸4月22日 8:304月22日 10:00新开硝酸缸为无色透明。放置12H后仍未无色透明加入5-10ml异丙醇后，立即产生大量黄色盐雾从结果来看，异丙醇与硝酸会发生反应产生大量黄色气体。但需要进一步确认此黄色气体是否会对测试结果产生影响。2.2.1.2 同一型号不同条件孔隙率测试结果选用试板%5715取样，按照不同条件测试孔隙率。图2：不同条件孔隙率测试取样示意图表4：孔隙率不同测试条件样片样1样2样3样4样5测试条件采用4月21日下午开的硝酸，并且使用异丙醇清洗后放入蒸发皿采用4月21日下午开的硝酸，样品水洗后放入蒸发皿新开硝酸（未做过其他样片），样片水洗后放入蒸发皿新开硝酸（和其他经过异丙醇清洗的样片一起测试），样片水洗后放入蒸发皿经过试验4后，又于21:00新开硝酸（未做过其他样片），重新再取样片水洗后放入蒸发皿测试结果结论剥离不剥离不剥离剥离不剥离从结果来看，硝酸蒸汽中加入异丙醇会对孔隙率测试结果产生影响。2.2.1.3 外发与自产板比较孔隙率测试过程中发现有异丙醇残留至硝酸蒸汽中的现象，而试验验证异丙醇的残留会增强硝酸腐蚀性。因此，比较外发厂、万江厂、东城厂等镀金手指的耐腐蚀性。表5：不同厂家镀金手指孔隙率测试结果对比测试方法：%8541、%1875两个型号为外发制作，%6512为自产,第二张图片为万江前期做的板。将三个样片都使用异丙醇浸泡，并同时放入干燥皿中。从比较结果来看：在加入异丙醇的情况下，外发厂和万江厂生产的镀金手指板孔隙率测试无剥离，东城厂生产的镀金手指有剥离。小结：孔隙率的排查结果显示，硝酸加入异丙醇确实会对孔隙率产生影响。但同时东城厂制作的金手指板也确实存在问题。2.2.2异常板分析从孔隙率结果来看，应该为金镀层异常。对镀层进行EDX和元素分析，结果如表3。表6：自产板和外发板EDX及元素分析对比外发板自产板EDX元素EDX元素元素重量原子百分比百分比C K14.2165.92O K3.0710.69Au M82.7223.39总量100.00元素重量原子百分比百分比C K8.5560.52Au M91.4539.48总量100.00从EDX看，金面有少量针孔，是导致剥离孔隙率不合格的主要原因。初步怀疑药水被污染导致镀金层晶格不致密。2.2.2 过程排查3月30日开线，4月3-4月5日清明节放假。从视频监控上看到，晚班FE.D对镀金手指线抽风管抽风方向进行了改动，同时视频上看到现场东抽风管镍缸位置的出口接了2-3L废液。图3：4月6日晚班改动抽风管前将管一端