泰曼-格林干涉仪技术概述.pdfVIP

泰曼-格林干涉仪技术概述 1迈克尔逊干涉仪原理简示 其中： S：点光源或扩展的单色光源； M1：固定反射镜 M2：可移动反射镜 G1：半透半反镜 G2：补偿板，与G1材料和几何尺寸相同 L：透镜，观察扩展光源干涉图样时使用 2 泰曼-格林干涉仪 泰曼-格林干涉仪原理图 其中： 卓力特 S:单色激光光源 L：透镜 M1，M2：反射镜 G：镀有银膜的玻璃板 M1’：反射镜M1在半反射面G 中的虚像 M1 G M1’ 若作出反射镜 在半反射面 中的虚像 ，干涉仪的出射光线相当于 M2 和M1’所构成的空气楔的反射光，因而泰曼干涉仪实际上就等效于平面干 涉仪，只是这里两束光的光路被完全分开，进而产生了干涉条纹。 3二者区别 （1）泰曼干涉仪的光源一般是单色激光光源，迈克尔逊干涉仪可用点光源或扩 展光源 （2）泰曼干涉仪有校正像差的透镜L （3）泰曼干涉仪没有补偿板 4 泰曼格林干涉仪应用领域- 普遍用来检验平板，棱镜和透镜等光学元件的质量。 更为精密的用途为： （1）检测室内微小振动和空气流动 （2）监测系统内温度变化 3 （）检测直角棱镜的综合质量 5 泰曼-格林干涉仪的实际布置案列 He-Ne λ 630nm L1 激光器 （ ）发出一束激光，经空间滤波器、透镜 和分束 镜分成两束平面波，一束经参考镜M1反射后再经反射镜入射至CCD传感器； 卓力特 另外一束经透镜L2之后出射至待检镜，之后原路返回，再经反射镜入射至 CCD传感器。图像采集与处理后可在监视器上观察到干涉条纹，而后确定图像 采集有效区域，并对此区域内的干涉条纹进行数学处理，运用相应算子卷积运 算对干涉条纹进行边缘增强和图像锐化等处理，最后得到待检光学系统的波面 信息和各项像差系数。 6精度与误差分析 由于实测试验选取了面型精度为λ/10 的球面反射镜作为参考镜，新型干涉 仪的测试精度可达到λ/10 的水准，通过比对实验，可知泰曼-格林干涉仪的理论 测试能力即精度值应与ZYGO干涉仪的测试能力相近。 通过进行误差分析，可得造成精度降低的误差主要来自： 1 （）机械加工过程中机械轴线与标准镜光轴的同轴度误差导致装调过程中基准 光轴的微量倾斜； （2）利用干涉条纹处理软件的过程中，人工选取点位的主观性也会对测试精度 造成一定影响； （3）比对试验引入的误差； （4）实验中外部震动引起的微小扰动。 7结论 泰曼-格林式干涉仪在光学像质测量等领域有着广泛的应用，该案例基于一 种具有参考镜离轴和两基准光轴互相垂直等特点的泰曼格林式干涉仪的设计方- 案，针对新型干涉仪的结构特点研究了其装调方法，提出了具体的装调流程， 并通过装调试验对装调方法进行了验证，得到 以下结论： （1）通过对已知面型精度PVC为λ/10 的标准球面镜进行测量试验，得到该型 干涉仪的实际测量精度为0.09λ； （2）本文研究的装调方法可有效满足该型干涉仪的设计要求，并使该型干涉仪 6% 的实际测量精度与理论设计接近，对应的装调损失精度低于 ； （3）装调过程中所引入的失调量主要来自3个方面：机械加工带来的同轴度误 差、人工选取点位带来的主观性误差和比对实验带来的误差等。 卓力特