高光束质量大功率垂直腔面发射激光_宁永强教材.pdf

第 卷第 期 年 月 41 12 红外与激光工程 2012 12 Vol.41 No.12 Infrared and Laser Engineering Dec.2012 高光束质量大功率垂直腔面发射激光 宁永强，张 星，秦 莉，刘 云，王 伟，张立森，王贞福，王立军 (发光学及应用国家重点实验室，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033) 摘 要： 大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)在激光泵浦、激光测距、激光雷达等领域有广泛的应用 前景，但目前的常规激光器材料结构尚未针对大功率激光输出进行优化设计。特别是为获得大功率 激光输出所采用的大出光窗口导致的激光光束质量劣化成为限制其应用发展的核心问题之一。针对 上述问题对激光器材料结构与器件结构进行了两方面的新结构设计和研制：(1) 以实现大功率激光 输出为目标，材料结构设计上对出光窗口一侧的N-DBR 反射率进行了调整，以具有99.3%反射率的 n-DBR 替代常规结构中所采用的99.7% 以上反射率。与常规材料结构相比，采用优化后的材料结构 制备的直径500 μm 出光孔径的单管器件在注入电流110 A 时激光输出功率达到102 W，而单元出光 窗口直径100 μm 的5×5 阵列在100 A 电流下的激光输出功率为103 W，单元直径为140 μm 的8 ×8 阵列在130 A 注入电流下的激光输出功率达到115 W ；(2) 针对大出光窗口导致的光束质量劣化，通 过湿法化学刻蚀研制了直接集成在出光窗口表面的微透镜结构，单元出光窗口直径为90 μm 的6×6 阵列器件在4 A 注入电流下的激光光束发散角压缩到6.6 ° ，与未集成微透镜时的14.8°相比有了大幅 改善。实验结果表明：降低n-DBR 反射率及集成微透镜结构有效地改善提高了大功率垂直腔面发射 激光的输出功率和激光光束质量。 关键词： 垂直腔面发射激光器； 大功率； 高光束质量； 微透镜； 窄脉冲 中图分类号： TN21 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2012)12-3219-07 High-power high beam quality vertical-cavity surface-emitting lasers Ning Yongqiang, Zhang Xing, Qin Li, Liu Yun, Wang Wei, Zhang Lisen, Wang Zhenfu, Wang Lijun (State Key Laboratory of Luminescence and Applications, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China) Abstract: High-power vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSEL) can be used as the laser source of laser pumping, laser ranging, and LIDAR, etc. The material structure of VCSEL was rarely optimized directly for high power operation. The deterioration of