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ApplicationNoteMEMS开关SMES的结构与使用方法.PDF
Application Note 01
MEMS 开关 2SMES-01 的结构与使用方法
MEMS RF Switch
Type: 2SMES-01
Copyright © 2012 OMRON Corporation. All Rights Reserved. 1
1. 前言
在本应用注释中，以本公司静电驱动型MEMS开关为对象，针对静电促动器的工作原理、驱动方法
等进行说明。
2. 何谓MEMS
MEMS为“Micro Electro Mechanical Systems”的略语，是将微小的机械重要零件、传感器、电
子电路等集成于同一硅电路板、玻璃电路板、有机材料等之上，通过半导体集成电路制作技术制
作其主要部分的设备的总称。
3. 何谓静电驱动型MEMS开关
以静电引力为驱动力，通过MEMS技术制作的机械性超小型开关。
4. 欧姆龙MEMS开关(SPDT)的基本结构
本公司MEMS开关产品的结构如图1所示，使用SPST(Single Pole Single Throw)的2个MEMS芯
片，在陶瓷封装上进行倒装片封装，接点的构成方式与SPDT(Single Pole Double Throw)的构成
方式相同。
图1.SPDT封装结构
5. 欧姆龙MEMS开关(芯片)的基本结构
本公司MEMS开关(芯片)内部的基本结构如图2所示，为玻璃-硅-玻璃的3层结构。接点的构成方
式与SPST(Single Pole Single Throw)、常开1a的构成方式相同。上方的玻璃电路板为用于保
护促动器的密封盖，中间的硅电路板起开关促动器与电容器可动电极的作用。下方的玻璃电路板
上形成开关信号线与电容器固定电极，通过在可动电极与固定电极之间外加电压，电极之间会产
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生静电引力，将可动电极吸附于固定电极侧。如使电压OFF，则不会产生静电引力，而是通过硅
的弹簧力复位。
如果施加电压
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