第4章节常用传感器原理及应用4-6.ppt

§4 电容式传感器 三. 电容式传感器的主要优缺点 四. 电容式传感器的工作原理 五. 电容式传感器的分类及结构 六. 电容式传感器的静态特性 2. 变面积式电容传感器 3. 变介电常数式电容传感器 七. 电容式传感器的主要性能 采用差动式改善非线性特性 八. 电容式传感器的应用 本节小结 §5 压电式传感器 3. 压电式传感器的主要优缺点 二. 压电传感器的工作原理 1. (正)压电效应 2. 逆压电效应 三. 石英晶体的压电效应 2. 石英晶体的内部结构 3. 石英晶体的压电效应 4. 石英晶体的切片 四. 压电陶瓷的压电效应 3. 压电陶瓷的轴向 4. 压电陶瓷的压电效应 正压电效应 逆压电效应 五. 压电元件的常用结构形式 2. 电学结构 六. 压电式传感器的等效电路 2. 压电式传感器的实际等效电路 3. 压电式传感器的适用情况 七. 压电式传感器检测电路 2. 电压放大器 3. 电荷放大器 八. 压电式传感器的应用 本节小结 §6 磁敏式传感器 二. 霍尔器件 2. 霍元件的材料 3. 霍尔元件的结构 4. 霍尔元件的基本电路 5. 霍尔元件的激励及其叠加 6. 集成霍尔传感器 8. 霍尔传感器的应用 三. 磁敏电阻 四. 磁敏管 本节小结 图4.5.6 压电陶瓷的极化 对压电陶瓷而言，将其极化方向定义为Z轴，在垂直于Z轴的平面上，可任意选择一正交轴系为X轴及Y轴。对压电陶瓷而言其坐标系取左手系或右手系是无关紧要的。一般情况下，对于压电陶瓷切片，Z轴为极化方向，而X、Y轴分别垂直两个切面，且成左手系，如图4.5.7所示。 图4.5.7 压电陶瓷的压电原理 压电陶瓷在未极化前不具有压电现象，是非压电体。极化后则具有非常高的压电常数，为石英晶体的几百倍。如图4.5.7(a)所示，压电陶瓷在沿极化方向受力(即在极化面上受到垂直于它的均匀分布的作用力)时，则在这两个极化面上分别出现正、负电荷；如图4.5.7(b)所示，压电陶瓷在沿X(Y)轴方向受均匀分布的作用力时，在面上亦出现正、负电荷，但其符号与前种情况下相反 图4.5.8 自由电荷与吸附束缚电荷示意图 极化处理后，压电陶瓷内部仍存在有很强的剩余极化强度。但其内部的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来，即在其一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷，如图4.5.8所示。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反、数量相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外界的作用。 如果陶瓷片受到与极化方向平行的均匀分布的作用力F，如图4.5.9(a)所示，陶瓷片将产生压缩变形(图中虚线)，片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小，原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出现放电现象。当F撤消后，陶瓷片恢复原状(膨胀过程)，片内的正负束缚电荷之间的距离变大，因此电极上又吸附一部分自由电荷而出现充电现象。显然，当F的方向与X轴或Y轴平行时，其充放电现象恰好与上述情况相反。这种由机械效应转变为电效应，或者由机械能转变为电能的现象，就是正压电效应。 图4.5.9 压电陶瓷的压电效应 若在陶瓷片上加一个与极化方向相同的电场，如图4.5.9(b)所示，由于电场方向与极化强度的方向相同，所以电场的作用使极化强度增大，即陶瓷片沿极化方向产生伸长形变(图中虚线)。反之，若外加电场的方向与极化强度的方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。这种由于电效应变成为机械效应，或者由电能转变为机械能的现象，就是逆压电效应。 在压电式传感器中，为了提高灵敏度，常常将若干片压电元件组合在一起。这种组合方法的原则是： 压电组合元件在力学上是串联结构；在电路上可采用串联或并联结构，这是由于压电元件是有极性的。 1. 力学结构 若干片压电元件在力学上的串联结构方式，保证了所有压电元件受到同样大小的作用力。因此每片压电元件所产生的应变及电荷都与单片时相同。 叠层式结构：即将若干片压电元件叠合一起，保证了力学上的串联结构。 预应力：一定的预应力以保证在作用力变化时，压电元件始终受到压力。其次是保证压电元件与作用力之间的全面均匀接触， 图4.5.10 压电元件的组合结构 (1) 串联结构 图4.5.10(b)为串联结构，设单片晶片的电容为Ca 输出电压为Ua，电荷量为q，n片单晶串联后则有 Ca=Ca/n，Ua=nUa，q=q (4.5.1) 可见，串联接法输出电压高，本身电容小，适用于以电压作为输出量以及测