扫描电镜培训2016.pdf

FEI场发射扫描电镜 及牛津X射线能谱仪培训 2016-12-5 范丽霞 刘静 1 主要内容： •1、电子束与固体的相互作用； •2、二次电子像衬度原理； •3、背散射电子像衬度原理； •4、扫描电镜的构造和工作原理； •5、X射线能谱仪的结构特点和工作原理； •6、扫描电镜的样品制备方法； •7、扫描电镜的操作。 2 1.入射电子与固体的相互作用 3 SEM 中的几种信号 二次电子 （Secondary electrons） 在入射电子束作用下，被轰击出来并离开样品表面的样品的核 外电子。 二次电子的能量较低，一般不超过50ev。大多数二次电子只带 有几个电子伏的能量。 二次电子一般都是在表层5-10nm深度范围内发射出来的，它对 样品表面十分敏感，因此，能非常有效地显示样品的表面形貌。 二次电子的产额与原子序数Z没有明显关系，不能进行成分分析。 4 SEM 中的几种信号 特征Ｘ射线（X-rays）  样品原子的内层电子被入射电子激发或电离时，原子就 会处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁 以填补内层电子的空缺，从而使具有特征能量的Ｘ射线释 放出来，这类Ｘ射线的能量与原子壳层间的能量有关，是 原子的标识． X射线从样品的500nm-5μm深度激发出来。 6 ２.二次电子像衬度原理 二次电子信号主要用于分析样品表面形貌 2 1 二次电子的产额η ∝ cosθ (θ为入射电子束与试样 表面法线的夹角) 我们用二次电子像 的亮暗衬度来分析样品 的表面形貌 7 钢样组织形貌分析 8 断口形貌分析 韧 性 断 口 脆 性 断 口 材料表面形貌 10 ３.背散射电子衬度原理 背散射电子的信号即可以用来进行形貌分析，也可用于成分分析．  形貌衬度 用背散射信号进行形貌分析时，其分辨率远比二次电子低。 因为背散射电子时来自一个较大的作用体积。此外，背散射电子 能量较高，它们以直线轨迹逸出样品表面，对于背向检测器的样 品表面，因检测器无法收集到背散射电子而变成一片阴影，因此 在图像上会显示出较强的衬度，而掩盖了许多有用的细节。 。． 11 背散射电子衬度原理 成分衬度（原子序数衬度） 背散射电子产额随样品中元素原子序数的增大而增加，因 而样品上原子序数较高的