X射线法测量ICF靶丸参数中表面轮廓法的应用.pdfVIP

　第 12 卷　第 1 期 强 激 光 与 粒 子 束 . 12, . 1　 V o l N o 　2000 年 2 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S Feb. , 2000　 文章编号: 　1001—4322 (2000) 01—069—03 X 射线法测量 ICF 靶丸参数中表面轮廓法的应用 刘元琼, 　罗　青, 　王明达 ( 中国工程物理研究院核物理与化学研究所, 绵阳市 919-218 信箱, 621900) 　　摘　要: 　在 ICF 靶参数测量中, 用接触X 射线显微辐射照相法记录微球X 射线图像, 采用精密表 面轮廓仪处理微球X 射线图像, 直接测量了单层微球壁厚。与光干涉法比较, 两种方法测量结果相差小 于 0. 3m 。 　　关键词: 　X 射线法; ICF 靶; 表面轮廓法 　　中图分类号: 　 619　　　　文献标识码: 　 TL A 　　在惯性约束聚变 ( ) 试验中, 常用的聚变靶丸是内充 气体的空心玻璃微球和塑料微球, 其直 ICF D T 径为 50～ 1000m , 壁厚为 0. 5～ 20m , 壁厚偏差要求在 0. 03～ 0. 5m , 内外壁不同心度要求在0. 1～ 05m 。光干涉法在测量透明微球壁厚中是很有用的, 其测量精度在 0. 05m 以内。可是, 将来的激光聚 变靶需要涂有一层或多层非透明薄层, 光干涉法以及其它一些透明靶测量方法便不适用, 因此, 发展了 X 射线显微辐射照相方法和技术。美国LLNL 早在七十年代就有了应用X 射线技术测量激光聚变靶参 [ 1, 4 ] [ 3 ] 数的报导, 包括单层玻璃微球和塑料微球以及多层球 , 他们主要是通过微密度计 扫描或者CCD 摄 像获取X 射线图像数据, 未见有利用精密表面轮廓仪对X 射线底片扫描获取图像数据的报导。我们利 用这种方法测量了单层塑料微球壁厚及其均匀性, 并与干涉法测试结果作对比。 1　ICF 靶丸 X 射线图象获取条件 　　接触显微辐射照相法测量非透明激光靶参数, 其基本原理如图 1 所示, X 射线源尺寸比起源到底片 的距离来说是很小的。因此, X 射线近似于平行地穿过微球在底片上记录出几乎无放大的微球图象。X 射线图象与 射线穿过微球的路径长度、微球组成及 射线能量有关。实验过程包括: 样品制备、 射 X X X 线图象获取、 射线图象分析等过程。 X 　　用 TM 50 显微镜挑选一批微球并测出其直径, 将微球编号, 用L eitz 干涉显微镜测出对应微球壁 厚。微球支架如图 2 所示, 基底铜片厚度为 0. 1 , 8 8 膜厚为 300 。将编号微球依次置于靶支架的 mm C H nm