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第八章 静电放电损伤及防护 张素娟 办公室：为民楼438 电 话 邮 箱：zhangsujuan@buaa.edu.cn 静电放电损伤及防护 静电的产生 静电放电模型 半导体器件对静电的敏感度 静电放电损伤的特点、失效模式与失效机理 静电防护 静电的产生  静电是指物体所带电荷处于静止或缓慢变化的相对稳定状态。  特点是高电位小电量。  物体摩擦带电 绝缘体之间  固体感应带电导体之间 绝缘体 绝缘体 导体 带电体 ++ ++ ++ -- ++ -- 摩擦生电 感应生电 静电的产生  摩擦生电 产生静电的大小除与摩擦物体本身的材料性质有关，还要受到 许多因素的影响，如摩擦的面积、速度、接触压力、表面洁净度和 环境条件等，分离速度越快，接触面积越大，摩擦产生的静电荷越 多。  感应生电 当一个导体靠近带电体时，会受到该带电体形成的静电场的作用， 在靠近带电体的导体表面感应出异种电荷，远离带电体的表面出现 同种电荷。尽管这时导体所带净电荷量仍为零，但出现了局部带电 区域。显然，非导体不能通过感应产生静电。 静电的产生 静电的产生及其大小与环境湿度和空气中的离子浓度 也有密切的关系。在高湿度环境中，由于物体表面吸附带 有一定数量杂质离子的水分子，形成弱导电的湿气薄层， 提高了绝缘体的表面电导率，可将静电荷散逸到整个材料 的表面，从而使静电势降低。 例如，北方地区或干燥的冬季，静电现象严重，通过 加湿予以改善。 静电的产生  人体静电 人在活动过程中，衣服、鞋以及所携带的用具与其它材料摩擦 或接触、分离时，即可产生静电。表1列出了活动人体身上的典型电 压。由于人体活动范围大，很容易与带有静电荷的物体接触或摩擦 而带电，同时也有许多机会将人体自身所带的电荷转移到器件上或 者通过器件放电。而人体静电又容易被人们忽视，所以人体静电放 电往往是引起半导体器件的静电损伤的主要原因之一，它对半导体 器件的危害最大。 静电的产生 静电电压(V) 人体活动 相对湿度10～20% 相对湿度65～90% 在合成纤维地毯上走动 35,000 1,500 在聚乙烯地板上走动 12,000 250 在工作台上操作 6,000 100 翻动说明书的乙烯树脂封面 7,000 600 从工作台拾起普通聚乙烯袋 20,000