AFM培训资料.pdf

布鲁克 Dimension Icon 扫描探针显微镜 培训资料 （第一期 ） 2015年3月23 日 AFM学习交流qq群： 431742043 （本资料仅限本人学习使用，未经许可，请勿网上上传！） 须知： 1.课程结束之后会有理论考试，75分为及格， 课程考试不及格者没有上机资格，请做好笔 记。 2.取得上机资格的仅限参加培训并取得仪器 分析中心颁发的结业证书者，其他任何人不 得使用AFM ，如若发现有违规操作者做封号 处理，撤销上机资格。 3.使用AFM时请严格按照操作流程来进行， 如若损坏，个人负责。 4.拷贝数据时，请使用空白光盘，不要拿用 过的光盘及U盘，以避免感染病毒危险，如 若损坏，个人负责。 5.AFM的耗材探针需测试者自备，可以自 行购买或者向仪器分析中心购买（可单只购 买，价格为原价的1.5~2倍）。 扫描探针显微镜概述 1982 年 ，扫描隧道显微镜 （Scanning Tunneling Microscope ，STM ）的问世轰动了 科 学界 ，这是第一种能在原子尺度真实反映材料表面信息的仪器 ，它利用探针和导电表面 之间 随距离成指数变化的隧穿电流来进行成像 ，使人们第一次能够实时地观察单个原子在 物质表 面的排列状态和与表面电子行为有关的物理 、化学性质 ，在表面科学 、材料科学 、 生命科学 等领域的研究中有着重大的意义和广阔的应用前景 ，被科学界公认为二十世纪八 十年代世界 十大科技成就之一 。STM 的发明人 ，IBM 公司苏黎世实验室的Binnig 和 Rohrer ，于 1986 年 被授予诺贝尔物理学奖 。 但 STM 的工作原理决定了它只能对导电样品的表面进行研究 ，而不能对绝缘体表面进 行检测 。为了弥补 STM 这一不足 ，1986 年 IBM 公司的 Binnig 和斯坦福大学的 Quate 及 Gerber 合作发明了原子力显微镜 （Atomic Force Microscope ，AFM ）。AFM 可以在真 空 、大气甚至液下操作 ，既可以检测导体 、半导体表面 ，也可以检测绝缘体表面 ，因此迅速 发展 成研究纳米科学的重要工具 。 在 STM 和AFM 的基础上 ，又相继发展出了近场光学显微镜 （Scanning Near Field Optical Microscope, SNOM ）、扫描电容显微镜 （Scanning Capacitive Microscope ，SCM ）、磁力 显微镜 （Magnetic Force Microscope ，MFM ）、横向力显微镜 （Lateral Force Microscope ，LFM ）、静电力显微镜 （Electrostatic Force Microscope ，EFM ）、开尔文探针显微镜 （ Kelvin Probe Force Microscope ，KFM ）等, 这类基于扫描探针成像的显微仪器统称为扫描 探针显 微镜 （Scanning Probe Microscope ，SPM ）。 SPM 具有以下独特的优点 ：原子级的高分辨率 、实时成像 、可以直接研究表面局域性 质 。它是一种跨越了光学显微镜和电子显微镜两类仪器工作范围的精密成像仪器 ，同时也是 一种具有极高分辨率的表面性质测量仪器 。得益于SPM 丰富的工作模式 ，它被广泛应用于 科学研究的各个领域 ，从基础的表面形貌表征到材料表面的性质分析 ，从材料科学到生命科 学 ，SPM 已经逐步演化为研究纳米科学的不可或缺的重要工具 。 SPM 的工作原理： 1 SPM 是一类仪器的统称 ，最主要的 SPM 是 STM 和以 AFM 为代表的扫描力显微镜 （Scanning Force Microscope ，SFM ）。SPM 的两个关键部件是探针 （Probe ）和扫描管 （Scanner ），当探针和样品接近到一定程度时 ，如果有一个足够灵敏且随探针-样品距离单调变化的物 理 量P=P(z) ，那么该物理量可以用于反馈系统 （Feedback System ，FS ），通过扫描管的移动