电容式高过载微机械加速度计的设计与试验-光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棽 暋 棿 暋 斨旓旍棶棽棽暋斘旓棶棿 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棿 棿 暋 暋 暋 斄 旘棶棽棸棻棿 旔 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棿棸棿灢棸椆棻椄灢棸椄 电容式高过载微机械加速度计的设计与实验 灣 棳 棳 陶永康 刘云峰 董景新 棬 棳 棭 清华大学精密仪器系 北京 棻棸棸棸椄棿 椇 棳 摘要 针对某些高过载应用场合对微机械加速度计抗冲击能力的要求 设计了一种三轴向抗冲击的梳齿电容式闭环微机 暎 棳 械加速度计 通过分析带止档的闭环加速度计冲击响应过程 提出在敏感方向使用悬臂梳齿结构作为柔性缓冲止档可 椈 棳 以缓冲冲击过程中微结构间的接触碰撞 在非敏感方向采用结构模态和阻尼分离的设计可减小冲击变形 耗散冲击能 暎 棳 棳 棳 量 马歇特锤冲击实验表明 该加速度计能够分别承受 个轴向幅值为 脉宽约 的的加速度冲击 冲击 棾 棻棾棽棸棸 棻棸棽 旙 毺 棴椂 暎 棳 暎 前后偏置漂移在 椀旐斨以内 该闭环加速度计在暲棻棸 的非线性优于椀棸棸暳棻棸 棻棶椀旇偏置稳定性为棸棶棽椃旐 设计的 样机基本满足高过载环境下惯性测量的要求暎 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 微机械加速度计 闭环加速度计 三轴向高过载 柔性止档 马歇特锤实验 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斎椄棽棿棶棿斦椂椂椂棶棻暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棿棽棽棸棿棶棸椆棻椄 斈斿旙旈旑斸旑斾斿旞斿旘旈旐斿旑旚旓旀旇旈旇灢旓旜斿旘旍旓斸斾斻斸斸斻旈旚旈旜斿 旂 旔 旂 旔 旐旈斻旘旓灢旐斸斻旇旈旑斿斾斸斻斻斿旍斿旘旓旐斿旚斿旘旙 灣 斣斄斚斮旓旑灢旊斸旑 棳 棳 旂