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第卷第期摩擦学学报年月氮离子注入硅表面的力学性能及其微摩擦磨损行为研究张德坤葛世荣王世博王庆良中国矿业大学材料科学与工程学院江苏徐州摘要以单晶硅作为研究对象选用离子注入剂量分别为和注入能量为的氮离子注入单晶硅片利用原位纳米力学测试系统对氮离子注入前后单晶硅片的硬度和弹性模量进行测定在型微摩擦磨损试验机上对氮离子注入前后单晶硅片的往复滑动微摩擦磨损性能进行研究结果表明氮离子注入后单晶硅片的纳米硬度和弹性模量减小且注入剂量越大其降低越明显氮离子注入后单晶硅片的减摩性能提高其摩擦系数大幅度降低在载荷达
第 26 卷 第 4 期 摩 擦 学 学 报 Vo l 26, No 4
2006 年 7月 TR IBOLO GY Ju ly, 2006
氮离子注入硅表面的力学性能及其
微摩擦磨损行为研究
张德坤 , 葛世荣 , 王世博 , 王
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