薄膜太阳能电池的检测技术.pdf

高扬，美国ISET公司，中国业务代表 2011/8/28 常州 1  非晶硅薄膜太阳能电池  微晶硅薄膜太阳能电池  铜铟镓硒薄膜太阳能电池  染料敏化太阳能电池 2  原子结构  状态密度 ◦ 电子自旋共振 ◦ 光电方法 ◦ 红外吸收光谱 ◦ 光热偏折光谱 ◦ 核磁共振  光学特性 ◦ 稳恒光生电流法 ◦ 吸收系数光谱 ◦ 双光束光电导率 ◦ 反射-透射光谱 ◦ 傅立叶变换光生电流光谱 ◦ 光学带隙 ◦ 吸收系数确定缺陷密度 ◦ 折射率 ◦ 空间电荷方法  电学特性 ◦ 深能级瞬态谱 ◦ 暗电导率  器件质量材料的要求 ◦ 暗电导率激活能 ◦ 光电导率  光致衰减效应 ◦ 双极扩散长度 ◦ 电荷式深能级瞬态谱 ◦ 稳态光生载流子栅线 3  电子自旋共振（electron spin resonance ，ESR ）作为一种先进的实 验技术，能够反映半导体中缺陷的显微结构，并且适合于测量a- Si:H的缺陷密度。  ESR对a-Si:H的测量能够较好地识别中性悬挂键。因为ESR的结果 非常地清晰，这种实验方法被认为是确定a-Si:H缺陷的标准技术。  但是，ESR的灵敏度仅限于低自旋密度的薄膜，并且只能给出顺 磁缺陷（paramagnetic defect ）（带有未成对电子的缺陷）的信息。 为此，ESR会低估缺陷密度，因为带电荷的悬挂键没有未成对自 旋信号。所以，ESR结果非常依赖于决定缺陷电子占据情况的费 米能级位置。 4  因为H对缺陷钝化很重要，所以H在非晶硅a-Si:H原子结构中 的机理作用和稳定性是目前的研究重点。红外吸收光谱 （infrared absorption spectroscopy ）已经广泛地用于研究a- Si:H中的Si-H 键合模式（bonding configuration ）。可以观察 x a-Si:H红外吸收光谱中最明显的3个特征峰值波段为：  640cm-1的峰值：对应了Si-H 、Si-H 、Si-H 和(Si-H ) 共价键 2 3 2 n 键合模式的振动模（rocking mode ），能够用以确定a-Si:H的 H含量；  840～890cm-1的双峰值（doublet）：对应Si-H 键合模式的摇 2 摆模（wagging mode ）；  2000～2200cm-1的数个峰值：2000cm-1峰值对应孤立Si-H键 合模式的低拉伸模（low stretching mode ，LSM ），而2060～