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Parylene在毫米波MMIC电路防护上的应用研究.pdf
第33卷第1期 电 子 元 件 与 材 料 V01．33No．1
CoMPONENTSANDMATERIALS Jan．2014
2014年1月 ELECTRONIC
仝晓刚，敖辽辉，石秀锟，成彦
0036)
(中国电子科技集团公司第十研究所，四川成都61
GHz的薄膜滤波器和Ka频段的低噪声放
N在毫米波电路防护上应用的可行性，对35
摘要：为了验证Parylene
N膜层使薄膜滤波器中心频率下偏了约o．4％，10pm
大器进行了Parylene处理。测试结果表明，5pm的Parylene
N膜层使低噪放的噪声系数略有增大、增益略有降低。最后，
膜层使其中心频率下偏了约o．7％；5um的Parylene
对Parylene处理后的低噪放进行了湿热试验，高、低温贮存试验，发现其噪声系数曲线、增益曲线与试验前的走势
一致性较好。因而，Parylene处理技术在毫米波电路防护上的应用是可行的。
N；防护；MMIC电路；薄膜滤波器；低噪声放大器；噪声系数；增益
关键词：Parylene
doi：1 001-2028．201 4．01．01l
0．39690。issn．1
中图分类号：TN605 文献标识码：A 文章编号：1001—2028(2014)01—0039-04
in MMICcircuits
for millimeter-wave
Paryleneapplied
Investigation
TONG Yah
Liaohui，SHIXiukun，CHENG
Xiaogang，AO
InstituteofChinaElectronics
10th 610036，China)
(The TechnologyGroupCorporation，Chengdu
with todemonstratethe
GHzthinfilmfilterandKa-bandlow·noise werecoated
Abstract：35 amplifier Parylene
as ontest ofthin
of Ninmillimeter-wavecircuitsan results，idle
feasibilityParylene encapsulatinglayer．Based frequency
N decreasesaroundO．7％when1 0
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