厦门大学材料学院 考研复试 材料测试方法 08 TEMSEM.pdf

第二章 电子显微分析 Electron Micro-Analysis 第三节 透射电镜（TEM ）  透射电子显微镜是以波长很短的电子束 做照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种具有 高分辨本领，高放大倍数的电子光学仪器。 测试的样品要求厚度极薄（几十纳米），以 便使电子束透过样品。 发展历史 ※在电子光学微观分析仪器中，透射电镜历史久， 发展快，应用范围也最广泛 ※1932-1933，Ruska等制备第一台透射电子显微镜 后，透射电镜就已初步定型生产，并已达到分辨 率优于2nm的水平 ※到40年代末， 透射电镜的主体己基本定型。 ※由电子枪和两个聚光镜组成照明系统，产生一束 聚焦很细、亮度高、发散度小的电子束；由物镜、 中间镜和投影镜三个透镜组成三级放大的成像系 统； 给出分辨率优于lnm放大几十万倍的电子像。 透射电镜的发展带动了电子光学仪器和技术的发 展，在此基础上发展越来越多的高精尖仪器 透射电镜示意图 一、仪器结构  透射电子显微镜由三大部分组成：  电子光学系统， 真空系统 供电控制系统。  电子光学系统，又称镜筒，是电子显微镜的主体。 1、电子枪 2、聚光镜 3、物镜、中间镜和投影镜  4 、消像散 5、荧光屏、照相系统 6、样品室  CM200-FEG场发射枪电镜 加速电压20KV 、40KV 、80KV、 160KV、200KV 可连续设置加速电压 热场发射枪 晶格分辨率1.4Å 点分辨率2.4Å 最小电子束直径1nm 能量分辨率约1ev 倾转角度α ±20度 β ±25度 JEM-2010透射电镜 加速电压200KV LaB6灯丝 点分辨率1.94Å JEM-2010透射电镜 加速电压200KV LaB6灯丝 点分辨率1.94Å EM420透射电子显微镜 加速电压20KV 、40KV 、60KV、 80KV、100KV、120KV 晶格分辨率2.04Å 点分辨率3.4Å 最小电子束直径约2nm 倾转角度α ±60度 β ±30度 Philips CM12透射电镜 加速电压20KV 、40KV 、60KV、80KV