短脉冲激光打靶用溅射防护薄膜的光学性质.pdfVIP

第26卷第3期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．26．NO．3 2014年3月 HIGHPoWERI。ASERAND PARTICI。EBEAMS Mar．。2014 短脉冲激光打靶用溅射防护薄膜的光学性质‘ 陈姝帆， 黄传群， 蒋晓东， 罗 炫， 孙连来， 方 瑜， 杨睿戆， 张庆军 (中国I程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳，6219,30) 摘要：针对短脉冲激光打靶用溅射防护聚合物薄膜做了初步研究。研究了氟化乙丙共聚物(FEP)、全 氟烷氧基共聚物和乙烯四氟乙烯共聚物i种厚度均为25 tim的聚合物薄膜的透过率，结果表明FEP薄膜在 355 nm处光透过率达93％，有望用于激光打靶的溅射防护。进一步对FEP聚合物薄膜的波前畸变、激光损伤 阈值进行了研究，结果表明士80mm的聚合物薄膜在632．8nm处的透射波前畸变的峰谷值(PV值)为波长的 1．006倍；在采用输出波长355 nm，脉冲宽度9．3Yls的Nd：YAG激光为照射光源波长处，薄膜零损伤概率时 的最高激光能量密度为10．35 J／cm2，100％损伤概率时的最低激光能量密度为11．48J／cm2。 关键词： 聚合物薄膜； 短脉冲激光； 溅射防护； 透过率； 损伤阈值 中图分类号：0634 文献标志码： A doi：10．3788／HPI。PB201426．032010 高功率激光装置在打靶过程中，由于脉冲激光与靶相互作用会产牛冲击力很强的靶溅射物。靶溅射物黏 附到光学元件表面，不仅降低元件透射率，还可能直接导致元件表面发生不可修复的损伤。而对昂贵的光学元 件进行重新抛光甚至更换将带来成本的大幅攀升，并且增加了重新装校时问，严重影响装置的连续运转‘…。凶 此，开展高功率激光器打靶用溅射防护方法和材料研究意义重大。一种具有特殊性能的聚合物薄膜可有效地 用于短脉冲激光打靶实验中对聚焦系统和诊断设备的靶溅射碎片的防护。这种聚合物薄膜在打靶激光波长处 吸收极低，并且具有良好的成膜性和较高的激光诱导损伤阈值，同时薄膜的折射率均匀性和厚度均匀性应能满 足光学系统对波前畸变的限制要求心…。通过对这种高阈值[5“、低吸收的靶溅射物防护聚合物薄膜的研制不 仅可以降低光学元件更换频率，还可以减少装置运行成本，这对于降低高功率激光装置的打靶成本，提高运行 薄膜直接挡在光学元件前，吸收靶蒸气和碎片，这种方法几乎对所有的靶溅射物均有防护作用，最大程度保护 了昂贵的光学设备和元件。1。，但这项工作只针对波长400 nm以上的激光进行了研究，关于更短波长脉冲激光 的相关研究目前少见报道。而这方面的工作，目前国内更无成熟的产品及相关材料的应用。本文针对这一应 用需求，研究了三种高透聚合物薄膜透过率，并对在355nm处具有最高透过率的氟化乙丙共聚物(FEP)薄膜 的激光损伤性能、波前畸变性能等进行了研究。 1 实验材料和测试方法 1．1实验材料 厚度为25 膜均采用吹塑成膜方式制成。为避免表面杂质影响，每次测试前薄膜分别用乙醇和丙酮作溶剂，各超声清洗 10min，取出自然晾干后再测试。 1．2表征仪器 Lambda 利用PerkinElmer 950紫外分光光度计测量薄膜透过率；利用4”干涉仪测试薄膜波前畸变：采用 输出波长355nm、脉冲宽度9．3 ns的Nd：YAG激光为照射光源，测试薄膜激光损伤性能，判定薄膜损伤标准 为通过光学显微镜观察薄膜足否被激光打穿，经过多发测试后得到薄膜在一定激光能量密度下的损伤概率， 2聚合物薄膜透过率 图1是三种聚合物薄膜的透过率曲线。从图1可知，三种聚合物薄膜300～400nlTl波长范围内都具有较 *收稿日期：2013-0929； 修订日期：2013—12-24