钽阴极在热阴极辉光放电中行为与防护.pdfVIP

第46卷第2期 大连理工大学学报 VOL46，NO．2 2OO6年3月 of of Mar2O 0 6 Journal Dali眦UniversityTechnology ，女女女女ttt女-擎 _工程物理、工程力学_ 舟*#***#**#蒂 钽阴极在热阴极辉光放电中行为与防护 白亦真一2， 吕宪义3， 金曾孙3， 姜志刚3 (1．大连理工大学三柬材料改性国家重点实验室，辽宁大连116024 2．大连理工大学物理秉，辽宁大连116024； 3．吉林大学超硬材料国家重点实验室，吉林长春130。23) 摘要：为快速沉积高品质金刚石膜，建立了热阴极等高于体化学气相沉积方法．相对于常规 冷阴极辉光放电而言，热阴极辉光放电是一种新型放电形式，具有许多新的特性，其中重要一