测试技术(第六章 常用传感器)2.pdf

工程测试技术 ——郭世伟 第六章 常用传感器（二） 七、压电晶体传感器 1、利用压电材料的压电效应——某些物质如石英单晶体、 多晶压电陶瓷，当受到外力作用时，不仅几何尺寸会发生变化， 而且内部也会被极化，表面会产生电荷，形成电场；当外力去 掉时，又重新回到原来的状态，这种现象称为 （正）压电效应。 还有逆压电效应（电致伸缩效应）。压电式传感器为一种可逆 型换能器。 测试技术中广泛利用其正压电效应进行力、压力、加速 度的测量。另外，利用逆压电效应可将高频电振动转换成高频 机械振动，产生超声波，以此作为超声波的发射器。而利用正 压电效应将接收的超声振动波转换成电信号，以此作为超声波 的接收器。 以石英晶体为例，切片使用时应注 意方向，并有纵向压电效应、横向 压电效应、切向压电效应。 石英单晶体与多晶压电陶瓷 两者压电机理的不同（后者需要人工极化、老 化等处理） 前者稳定性好，机械强度高，工作的温度范围 和测力量程都很大。 后者的温度稳定性和时间稳定性比前者差，但 灵敏度高、价格低廉。 压电式传感器为物性型、发电型（能量转换型） 传感器。 外力作用于晶片表面时，可看作是电荷发生器，又是 一个电容器，是一个具有一定电容的电荷源。它产生的电 荷与作用力成正比关系。 A q 电容量C ，电荷q DF，开路电压u  C 实际应用中有串联、并联连接方法： 串联时，C C / 2, U  2U, Q Q 并联时：C 2C,U  U, Q 2Q 压电式传感器适宜于动态测量，不适于静态 和缓变信号的检测。 2、测量电路 压电式传感器内阻很高，电荷信号又很微弱，故 需经过前置放大器的放大和阻抗变换，才可再进行后 续处理。前置放大器为高输入阻抗放大器，有电压放 大器和电荷放大器两种。 电荷放大器应用广泛，电荷放大器为一个高增益 带电容反馈的运算放大器，略去电路中的电阻量后的 等效电路为下图所示。 与电压放大器相比， 电荷放大器的输出 电压与电缆长度、 分布无关，这为其 突出优点。 q e (C C C ) (e e )C e C (e e )C i a c i i y f i i y f e ——放大器输入端电压 i e ——放大器输出端电压，e -k e y y i k ——放大器开环增益 C ——压电晶片电容 a C ——连接电缆的等效电容 c C ——放大器输入等效电容 i C C  C  C a c i C ——