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SEMI紧急遮断用(EMO)开关保护罩
SEMIEMO
SEMATECHHW9Z-KG5
2
SEMATECH Application Guide for SEMI S2-93
1 ø75mm HW9Z-KG5 ø76mm
2 3mm
HW9Z-KG5 3mm
•XW1E-BV4/BV4-EMO •XW1E-LV4/TV4/BV5
•HW1B-V3/V4 •HW1B-X4
•HW1B-Y2 •HW1E-BV4/LV4
HW9Z-KG5 TÜV Rheinland 3mm
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HW9Z-KG5 1
• 2.5Y8/10 •mm
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