钢领表面电弧离子镀犜犻犃犾犆荦薄膜-中国表面工程.pdfVIP

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２６ ２ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．２ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１３ ４ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ａ ｒｉｌ ２０１３ ｐ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１３．０２．００９ ｊ 钢领表面电弧离子镀犜犻犃犾犆犖薄膜 １ １ １ ２ 杨立军 ，张泽辉 ，党新安 ，李 林 　 （ 陕西科技大学 机电工程学院，西安 ； 咸阳恒信纺机器材有限公司，陕西 咸阳 ） １． ７１００２１ ２． ７１２０００ 摘 要：在低温（ ）条件下，采用真空电弧离子镀技术在 钢领表面制备 薄膜。利用扫 １４５℃ ＧＣｒ１５ ＴｉＡｌＣＮ 　 描电子显微镜（ ）、电子探针（ ）、 射线衍射仪（ ）、附着力测试仪和显微硬度计分析测试薄膜形 ＳＥＭ ＥＰＭＡ Ｘ ＸＲＤ 貌和性质。结果表明，负偏压较小，液滴尺寸大；负偏压过高，液滴脱落后留下很多凹坑，薄膜组织性能恶化。 随着弧电流的增大，液滴发生细化。当弧电流为５０Ａ、负偏压为 １００Ｖ和镀膜时间为５０ｍｉｎ时，薄膜的均匀 性和致密性好，薄膜表面的液滴分布均匀且尺寸小，液滴最大尺寸小于 ２ ｍ，膜层平均厚度为 ２．２ ｍ，膜层 μ μ 中有 （ ）、 （ ）和 （ ） 等多种物质的存在，改善了膜层的组织结构，薄膜的附着 Ｆｅ Ｔｉ １１０ ＴｉＮ １１２ ＡｌＴｉＣＮ ０．９７５ ０．０２５ ２ ３ ０．６ 力达到最大值 ３９．８Ｎ，薄膜的硬度达到最大值 １７７６ＨＶ０．０１，显著提高了钢领的表面硬度。 关键词：真空电弧离子镀；ＴｉＡｌＣＮ；硬度；附着力 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４４４ Ａ １００７９２８９２０１３０２００５１０５ 　　 　　 犜犻犃犾犆犖犆狅犪狋犻狀狊犇犲狅狊犻狋犲犱犫 犃狉犮犐狅狀犘犾犪狋犻狀 狅狀狋犺犲犛狌狉犳犪犮犲狅犳犚犻狀狊 犵 狆 狔 犵 犵 １ １ １ ２ ， ， ， ＹＡＮＧＬｉ ｕｎ ＺＨＡＮＧＺｅｈｕｉ ＤＡＮＧＸｉｎａｎ ＬＩＬｉｎ ｊ （