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第二篇 电子显微分析 第七章 电子光学基础 ◆ 电子波与电磁透镜 ◆ 电磁透镜的像差与分辨本领 ◆ 电磁透镜的景深与焦长 §7-1 电子波与电磁透镜 ◆ 光学显微镜的分辨率极限 ◆ 电子波 ◆ 电磁透镜 ◆光学显微镜的分辨率极限 分辨本领是指成像物体（试样）上能分辨出来的两个物点间的最小距离。显微镜的分辨本领为 式中λ—照明光源的波长。 光学显微镜分辨本领的极限为2000?。因此，要提高显微镜的分辨本领，关键是要有波长短，又能聚焦成像的照明光源。 ◆电子波的波长 ◆ 电磁透镜-----原理 透射电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像的装置是电磁透镜。 ◆ 电磁透镜-----几何关系 ◆ 电磁透镜-----类型 软磁壳电磁透镜 极靴透镜 ： 在铁壳内,通过部件组装成四个向轴中心延伸的锥状圆柱形,形成靴形,使有效磁场集中在轴向很短距离内(几毫米) .极靴透镜中心BZ ↑,弯曲↑,聚集能力↑,焦距短 §7-2 电磁透镜的像差与分辨本领 ◆ 像差 ◆ 分辨率 ◆像差 --------球差 ◆像差 --------象散 磁场非旋转对称引起。由于极靴被污染，或极靴的机械不对称性，或极靴材料各项磁导率差异引起透镜磁场不对称。有的方向电子束的折射比别的方向强