应用声学显微镜研究等离子喷涂陶瓷-摩擦学学报.PDFVIP

点所在平面 的声波影像。 、 一 引 言 换 能器 二 二 二 丁 班于 声 学显 微镜 是 七 十 年代才发 展 起来 的一种新型显 微分析手段。 它 的独特 功能在 于 能无破 坏地 对 物体 内部成像, 观察 、 、 、 物体 内部 的结构, 如杂质 空穴 缺 陷 裂 。 纹等, 反 映材料 的力学像 这是传 统 的光学 合认 ‘ 井 显 微镜、 扫描 电子显微 镜 所 办 不 到 的。 因 之 。 此 , 声 学显 微镜在 国外 已越来越受到重视 舟失环 一 材二人 最 早提 出用声波成像 的是苏联 的 。 止厂二 犷 , , 〔 〕 由于工 艺条件的 限 制 直 到 图 声波在 样 品 内部聚焦示 意 图 年, 美 国斯坦福大学 的 教授和 他 的合作 者 们 才 研 制 出 第 一 台声学显微 但 是 由于声 波在不 同材料 中的速度 是不 , , “ 镜 〔 〕 至 今 己经 有 了很大 的发展 而 且渐趋 同的 因此 虽 然 实 际聚焦 于 点 深度 为 ,