超大规模集成电路4.Wire.pdf

超大规模集成电路基础 Fundamental of VLSI 第四章导线 导线的寄生参数 电阻，电容，电感 导线的寄生参数对电路特性的影响 使传播延时增加，或者说相应于性能下降 影响能耗和功率分布 引起额外的噪声源，从而影响电路的可靠性 导线的寄生参数 导线的寄生参数 包含大部分寄生参数的模型 只考虑电容的模型 导线的寄生参数 导线寄生参数分析方法 如果导线电阻很大，或者外加信号上升和下降时间 很长，那么电感的影响可以忽略 当导线很短，导线截面很大或者互联材料的电阻率 很低时可采用只含电容的模型 当互联导线间距很大，或者导线只在很短距离内靠 近在一起的时候，导线相互间的电容可以被忽略， 所有的寄生电容可以模拟成接地电容 导线电容 互连线平板电容模型 εdi S 1 c WL S int Cwire tdi S ⋅SL SL 导线电容 边缘场电容模型 wε 2πε di di c c +c + wire pp fringe tdi log(2tdi H +1) 导线电容 互联电容与W/tdi 的关系 导线电容 多层互联结构中导线间的电容耦合 导线电容 互连电容和设计规则间的关系 导线电容 典型0.25umCMOS工艺导线的平面电容和边缘电容（黑色行部分） 导线电阻 导线的电阻正比于它的长度L而反比于它的截面积A ρL R H W ρ R H L R R W 薄层电阻单位 Ω/ 导线电阻 减少导线电阻 有选择的缩小工艺尺寸 采用优质互联材料 采用更多互联层