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Rofin激光器使用简明说明书 控制电路板： 控制电路板主要包括： 电源，主开关，保险，继电器，安全装置，电机保护开关 HV启动中的高频发生器以及高压产生单元 计算机部分包括：CPU卡，数字输入，继电器输出，脉冲坡调发生单元，一个通用的外部控制系统接口 键盘和显示（控制终端），控制终端可以装在任何其他本类型激光器电路板上 面板符号说明 NO.: 名称 功能 Q1 Main Switch 机械开关连接主电源 -H1 Main is On 信号灯，灯亮表示主电源闭合 -H2 HV is On 信号灯，灯亮表示高压闭合 -H3 Shutter is closed 信号灯，灯亮表示光闸关闭 -H4 Shutter is open 信号灯，灯亮表示光闸打开 -S01 Emergency off 机械按钮，按下后，所有主接触器后的电路全部断开。除了Q1里闭合的那一部分仍然保持连通。 -S1 Mains off 后的电路全部断开。除了Q1里闭合的那一部分仍然保持连通。 -S2 Mains on 按下后给以下单元供电： ·控制电柜的风扇 ·高频发生器风扇 ·高频放电管电压模块 ︱ -S3 HV Off 高压断开按钮 ○ -S4 HV ON 高压闭合按钮（前提：光闸必须关上） ︱ -S5 Shutter Close 光闸关闭按钮 -S6 Shutter Open 光闸打开按钮 -S7 Key Switch Shutter Locked 在此情况下，光闸不能被打开 ○ -S7 Key Switch ShutterEnable 光闸在此情况下可以被打开 ︱ -S8 Key Switch Mode Select 在此状态下，高压和光闸都锁住不能开 ○ 手动模式 自动模式 每日启动程序 打开冷却水（如果采用水冷机组，则打开水冷机组） 打开面板上的Q1开关 按下“MAINS ON”按钮 信号灯“MAINS IS ON”闪烁 激光器里的风机启动 “MAINS ON”出现在显示屏上 在显示屏上出现如下信息 “WATER TEST” 大约10秒后“FLAMENT ON” 大约30秒后“HV READY” 如果有错误信息出现，则排除确认后按下“RETURN” 按下高压开关 按下“HIGH VOLTAGE ON”按钮 “HIGH VOLTAGE IS ON”灯闪烁 激光器警告灯发光 此时激光器可以开始操作了，可以通过键盘来选择程序 6、LASER BEAM ON在按下这个按钮之前确认需要出光，需要进行所有必须的安全防护工作。 关激光器 按下“LASER BEAM OFF”键，关闭激光器光闸 按下“HIGH VOLTAGE(HV) OFF”关闭高压 按下“MAINS OFF”断开主电源 关闭冷水机组 关闭Q1开关 主要报警信号 输入 说明 后果 文字显示 无文字显示 EVACUATION 正在更换激光气体 在服务菜单中选择相应键可以实现此功能 高压锁定 GAS EXCHANGE 真空管将冲入激光气体 高压锁定 GASFILLING 主电源关闭 主电源关闭或等待打开 高压锁定 MAINS OFF 真空检查激活 此功能可以在服务菜单中打开 高压锁定 VACUUM TEST X100.2 X100.4 在打开主电源后，计算机将等待3分钟以调节冷却水流量，为打开射频管做准备。 高压锁定 WATER TEST 警告信号： 腔内激光气压超出限制，这个信号表示激光气体交换十分必要。 无 CAVITY PRESSURE X100.7 警告信号： 激光气瓶内气压低或是 GAS BOTTLE PRESSUER 警告信号： 最近72小时内激光器气体没有更换，建议在24小时内换气，否则高压会锁住。 GASCHANGE IN MAX 24h X130.6 警告信号： 真空泵电机回路空开断开 1VACUUM PUMP X140.4 X100.5 ALL X 24V电源断开 24V SUPPLY CAN BUS ERROR 冷却水温度报警 COOLING WATER TEMP EVACUATION TIME 射频风扇压力过小，或相序接反 高压锁定 FAN RF GENERATOR 换气错误 高压锁定 GAS CHANGE FAULT 需要换气 高压锁定 GAS CHANGE REQUIRED 充气时间超过 高压锁定 GAS FILL TIMEOUT 射频电源过流 高压锁定 GRID CURRENT 高压监控 高压锁定 HV MONITORING 高压过载 高压锁定 HV OVERCURRENT HV软启动错误