多晶铸锭一册通.docx

二：TC管及温度问题 1）为什么运行过程中TC管的压力为常压？答：此项的目的是防TC管泄露，压力低于900MBR触发报警，TC管可能泄露（含TC1和TC2，它们是连在一起的）同时在常温常压的一端与测量的另一端能够形成较明显的热电动势。 2）最大温度报警情形？答：（A）当TC1温度达到1575时，便会报警， 120秒后DSS炉会自动断电，但不进入E-COOL！（B）此报警不会弹出报警窗口，但是在ALARM 视窗中MAX TEMP显示红色！ 3）最大温度报警处理方法？答：可在真实值里直接将温度改小一点或者将T转P降低功率设定值，使温度下降，然后再恢复运行；同时一定查看TC2和TCOT及高温计的温度变化，如果都有变大，要立刻手动进入E-COOL！如果TC2和TCOT及高温计温度没有变化，则说明为假报警，可手动断开TC1，调用相同重量的功率曲线来运行！ 4）温度误差报警？答：（A）当TC1与设定温度相差达到40度时且过了120秒将会报警，重复报警时间为120秒，但是不会断电，更不会进入E-COOL！（B）在ALARM 视窗中TEMP DEVIATION 显红色。 5）温度误差报警处理方法？答：一般情况消警后关闭窗口就没事了，如果再次报警，我们可采用以下方式处理：当过高报警时，点击PAUSE进入REAL VALUE 后将T转P然后将功率设定值改小一点，等温度恢复后P转T恢复运行；当过低报警时，采用相反的方式即可！ 6）热电偶故障报警情形（TC1失效报警）答：（A）热电偶出现问题，不能正常显示温度。（B）在热电偶断开报警之前，会先触发“最大温度”和“温度误差”报警，但是一旦热电偶故障报警出现后，两个报警就会自动取消掉！ 7）热电偶故障报警（TC1失效报警）原因？答：（A）运行中热偶丝断开。断开又是由以下几个原因造成：（1）温度过高熔断（2）氧化铝管破裂失去保护（3）老化作用造成，（4）信号中断问题（5）正负极接反（6）TC1模块问题 8）热电偶故障报警（TC1失效报警）处理方法？答：先复位，若复位不成功，此时我们应调用相同配方和相近重量的功率曲线来运行。但要密切关注TCOT、TC2、隔热笼、压力等变化！如果运行中途修复，可以复位TC1！注：如果炉子在H阶段出现TC1失效（1000度以下），建议停止运行并检修！ 9）超高温报警处理方法（TCOT报警） TCOT的报警温度为1550度，当报警时，炉子会自动进入E-COOL。1、到控制柜复位（按柜门上蓝色按钮或EZ），如果复位不成功，可以短接TCOT，跳回当前步骤2、当出现TCOT报警而TC1 没有报警时，通常为假报警，按照步骤（一）处理即可。为什么说是假报警？　　　（1）因为TC1测的是加热板的温度，而TCOT测的是炉腔顶部的温度，TC1的温度通常大于TCOT 50—100度之间，当出现TCOT 1550报警时，TC1已达到1600度大于1575度，这样TC1会早于TCOT报警，所以当出现TC1不报警而TCOT报警时通常为假报警。　　　（2）关注TC1，高温计，电流的变化，以及F6、F7的水温变化。3、当出现TC1报警后不久出现TCOT报警，通常为真报警。此时如果炉子自动进入了E-COOL后，我们在回跳当前步骤后要这样处理：（1）如果当前步骤为温度模式下，我们可直接进入真实值改设定温度，改小的部分为超出的温度。（2）如果当前步骤为功率模式下，我们可直接进入真实值改设定功率10-20%之间。稍后如果温度不能稳定下来，我们要手动进入E-COOL。4、当TC1失效后调用功率曲线后而出现TCOT报警，这时我们要判断是否为真假报警。（1）电流的变化（2）高温计的变化（3）F6回水温度的变化。(4)在M12以前即隔热笼关闭情况下TC2与以前数据对比　　10）TC2最大温度（1600度）报警情形？　　答：（A）弹出报警窗口，DS-BLOCK T/C IS OVER TEMPERATURE显红色　　（B）每隔300秒重复报警一次！炉子不会自动断电也不会E-COOL。　　（C）因为坩埚在1200度时坩埚将开始软化，温度在1700度时坩埚将全面开始软化，可以进行吹制，如果坩埚里面有液体，将会瞬间垮塌，硅液将烧穿炉壁，导致310#事件的发生！　　11）TC2最大温度（1600度）报警处理方法？　　答：当TC2最大温度报警时，立即进入E-COOL！当TC2为假报警，可短接TC2。 (依据TC1、TCOT、水温和炉腔压力来判断真假)　　12）TC2故障报警（TC2失效）处理方法？答：消警后复位，如果复位不成功，我们要查找一下原因，有可能为坩埚底部破裂发生液溢流使TC2失效；如果不是可短接通常！继续运行炉子。但是