多晶硅设备清洗.doc

XXX多晶硅企业3000t/a多晶硅项目主工艺系统清洗方案 为确保XXX多晶硅企业3000t/a多晶硅项目能达到电子级多晶硅的生产标准，将生产系统内的所有设备、管道及附件、机泵、阀门、仪表等设备和材料，分为一般清洗和洁净清洗两种，并对工作流程、清洗内容做出以下技术方案。 适用标准： 1、《工业设备化学清洗质量标准》（HG/T2387-2007）; 2、化工行业标准《脱脂工程施工及验收规范》（HG20202-2000）； 3、《腐蚀试样的制备、清洗和评定》以及对电子级设备的洁净标准（电子工业部颁发）。 一、工作流程 1、非标压力容器设备类 非标压力容器设备材质为碳钢的设备和材质为不锈钢的设备及内件的脱脂工作均由设备制造厂按照HG20202-2000《脱脂工程施工及验收规范》的要求进行处理，设备内部清洗工作均由设备制造厂按照HG/T2387-2007的要求进行处理。非标压力容器设备出厂前均要严格把关，由设备制造厂和业主方验收人员充分做好设备出厂验收工作。填写设备出厂验收单：对脱脂及钝化膜检验方法结果、干燥露点、封闭状态（盲板封闭）等要有明确记录，碳钢类设备要求充氮保护0.02Mpa。 容器类、反应器类、塔器类设备进厂后由业主方、监理方、安装施工单位、制造厂家共同进行设备内部洁净度验收，并填写《设备、材料化学清洗验收单》。合格的直接移交施工单位进行安装，不合格者移交清洗公司进行处理，费用由制造厂承担。 换热类设备进厂由四方验收后直接移交清洗单位，由设备所属子项的承包安装单位进行箱体解体后做壳体气密性试验，合格后由清洗单位进行管程清洗并组织四方进行洁净度验收，填写《设备、材料化学清洗验收单》。联合验收合格后由安装施工单位进行管箱组装和管程气密性试验。合格后交付施工单位安装，碳钢设备要求氮气密封。 2、机泵、阀门、仪表类 对于机泵、阀门、仪表类设备材料的酸洗钝化及清洗工作也均由设备制造厂按照HG20202-2000《脱脂工程施工及验收规范》的要求和HG/T2387-2007《工业设备化学清洗质量标准》的要求完成，业主方专人到制造厂进行酸洗钝化和清洗指导和监督，设备发货前由业主方和设备制造厂对完工设备进行内部洁净度验收并填写出厂验收单。 对于机泵类和仪表类设备进厂后由业主方、监理方、安装施工单位、制造厂家共同进行设备内部洁净度验收，合格后直接移交施工单位进行安装，不合格者移交清洗公司进行处理。费用由制造厂承担。 对于阀门类设备进厂时由设备制造厂直接移交安装施工单位，同时由业主方、监理方、安装施工单位、制造厂家四方共同验收阀门内部的洁净度，内部的洁净度合格的阀门由安装施工单位进行气密性试验，洁净度不合格者直接退回制造厂家负责处理。（为不影响工期，可要求厂家及时调换发货，减少运输时间，或由厂家委托清洗单位清洗，费用自理，但必须保证拆解、复位后的气密性试验合格）。 3、管道、管件、法兰、垫片类 对于工艺管道材质为碳钢的管道和材质为不锈钢的管道、管件、预制件、法兰、垫片的脱脂、钝化、封闭等工作均由清洗单位负责，分别按照HG20202-2000《脱脂工程施工及验收规范》的要求进行处理，清洗工作按照HG/T2387-2007《工业设备化学清洗质量标准》的要求进行处理。合格后由业主方、监理方、安装施工单位、清洗单位共同进行内部洁净度及钝化膜验收，验收时用蓝点法、荧光法检测或用清洁干燥的白色滤纸随即擦拭，达到无油、无锈、洁净、干燥为合格。合格后直接移交施工单位进行安装。 4、所有入场设备均由业主方、监理方、安装施工单位、制造厂家共同进行设备洁净度验收，因清洗不合格或装卸车及运输过程造成的二次污染，由制造厂承担二次相应等级清洗的费用，严重影响工期的按合同条款未能按时交货予以罚款；对于入场验收或清洗验收合格并移交安装单位的设备、管件、管道、阀门、仪表等，安装单位要做好施工防护，对确认造成的二次污染，安装施工单位必须承担二次相应等级清洗的清洗费，赶工费以及延误工期的处罚。 二、清洗等级要求 1、一般清洗：适用于系统内介质为仪表、氮气、氯气、液氯、硅粉、循环水、氯化氢、蒸汽的设备、管道、管件、阀门、仪表等。要求脱脂、钝化、干燥。 2、洁净清洗：适用于系统内介质为氯硅烷、氢气、纯水接触的碳钢，不锈钢的设备、管道、管件、阀门、仪表等。要求在一般清洗后对介质接触侧表面采用易挥发类试剂或用≥5MΩ·㎝的纯水进行充分擦拭或冲洗，验收时用蓝点法、荧光法检测或用清洁干燥的白色滤纸随机擦拭设备内表面，必须达到无油、无锈、洁净、干燥为合格。 具体设备、管道、管件、阀门、仪表的清洗等级，由技术部确定，并制定设备清洗等级一览表。 三、验收标准及记录卡表 1、奥氏体不锈钢类设备、材料钝化膜质量和洁净