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MSP300显微分光光度计及薄膜厚度测量系统
北京燕京电子有限公司
MSP300 显微分光光度计及薄膜厚度测量系统
地址:北京市朝阳区酒仙桥东路 9 号 A2 西七层
电话:01059/60;传真:010邮箱:sales@
北京燕京电子有限公司
介绍:
显微分光光度计(Micro-Photometry 、Micro Spectrophotometry)是用来描述薄
膜、涂层厚度超过1微米的物件的光学性能的。显微分光光度计同样也被称作为:
microreflectometer 、micro-reflectometer 、microspectrometer 、
microphotometer(Spectroscopic) 、microspectroscopic photometer 等等。依靠着
Angstrom公司独特的专业设计,MSP系列产品有着在线的实时数字成像系统,以
及强大的数字编辑能力、拥有者反射率、透射率及吸收光谱等测量工具。可以在
毫秒的时间内就完成数据采集。在进行诸如反射、透射、涂层厚度、折射率(光
学常数)等光学性能改变的运动学研究方面,TFProbe软件允许用户设立加热阶
段或冷却阶段。在各种MSP型号的可移动X-Y平台或ρ-θ平台中都可以用到自
动成像功能,在使用螺杆的电动调焦功能上也同样的能使用此功能。仪器所能测
量的波长范围通常是用户考虑的最重要的一个参数,Angstrom公司的MSP产品,
其测量波长覆盖了从深紫外光(DUV)到近红外光的范围。这个波长范围应当诸如
薄膜或涂层的厚度、反射或透射的典型波长范围等因素决定。
特点:
• 基于视窗结构的软件,很容易操作;
• 先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计,以确保系统能发挥出最佳的性能
及最长的正常运行时间;
• 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量;
• 低价格,便携式及灵巧的操作台面设计;
• 在很小的尺寸范围内,最多可测量多达 5 层的薄膜厚度及折射率;
• 在毫秒的时间内,可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
• 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数;
• 系统配备大量的光学常数数据及数据库
• 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、
也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析;
• 系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体;
• 能够应用于不同类型、不同厚度(最厚可测200mm)的基片测量;
地址:北京市朝阳区酒仙桥东路 9 号 A2 西七层
电话:01059/60;传真:010邮箱:sales@
北京燕京电子有限公司
• 2D 和 3D 的图形输出和友好的用户数据管理界面。
• 先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量;
• 各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用
系统配置:
• 型号:MSP300R
• 探测器:2048像素的CCD阵列
• 光源:直流稳压卤素灯
• 自动的台架平台:特殊处理的铝合金操作平台,手动调节移动范围为75mm
×55mm
• 物镜有着长焦点距离:4×、10×、50×
• 通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
• 测量类型:反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性尺寸
• 计算机硬件:英特儿酷睿2双核处理器,200G硬
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