应用离子束修正高精度CGH基底-中国光学.PDF

第９卷　第２期 　　　　 　　中国光学　　　　　　　 Ｖｏｌ．９　Ｎｏ．２ 　 　　 　　　　　　　 ２０１６年４月　 　 　 Ａｐｒ．２０１６ ＣｈｉｎｅｓｅＯｐｔｉｃｓ 文章编号　２０９５１５３１（２０１６）０２０２７００７ 应用离子束修正高精度ＣＧＨ基底  马占龙 ，彭利荣，王高文，谷勇强 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心，吉林 长春 １３００３３） 摘要：计算全息图（ＣＧＨ）作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测中，但ＣＧＨ的基底误差直接限制了非球面的 检测精度。为了获得超高精度的ＣＧＨ基底，提出了应用离子束修正ＣＧＨ基底的加工工艺。采用不同束径的离子束去 除函数对一边长１５２ｍｍ（有效口径１４０ｍｍ圆形区域）、厚６３５ｍｍ的正方形熔石英ＣＧＨ基底分别进行了精抛、精修和 透射波前修正实验。经过总计７轮的迭代修正，最终获得了透射波前为ＰＶ值２０７７９ｎｍ、ＲＭＳ值０６８５ｎｍ的超高精度 ＣＧＨ基底。实验结果表明：应用离子束修正高精度ＣＧＨ基底的加工工艺具有较大优势，不仅具有较高的加工效率而且 可以获得超高的加工精度。 关　键　词：光学制造；离子束；计算全息图；透射波前 ＋ 中图分类号：ＴＨ１６１；ＴＱ１７１．６　　文献标识码：Ａ　　ｄｏｉ：１０．３７８８／ＣＯ０２７０ ＨｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎＣＧＨｓｕｂｓｔｒａｔｅｆｉｇｕｒｉｎｇｂｙｉｏｎｂｅａｍ  ＭＡＺｈａｎｌｏｎｇ，ＰＥＮＧＬｉｒｏｎｇ，ＷＡＮＧＧａｏｗｅｎ，ＧＵＹｏｎｇｑｉａｎｇ （ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒｏｆＥｘｔｒｅｍｅＰｒｅｃｉｓｉｏｎＯｐｔｉｃｓ，ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆ ＡｐｐｌｉｅｄＯｐｔｉｃｓ，ＣｈａｎｇｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓ，ＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ， ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００３３，Ｃｈｉｎａ） Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇａｕｔｈｏｒ，Ｅｍａｉｌ：ｍｚｌｃｕｍｔ＠１２６．ｃｏｍ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｃｏｍｐｕｔｅｒｇｅｎｅｒａｔｅｄｈｏｌｏｇｒａｍ（ＣＧＨ）ｉｓｗｉｄｅｌｙａｐｐｌｉｅｄｉｎｔｈｅｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎｔｅｓｔｉｎｇｏｆａｓｐｈｅｒｅａｓ ｈｉｇｈａｃｃｕｒａｃｙｎｕｌｌｃｏｍｐｅｎｓａｔｏｒ，ｂｕｔｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｆｉｇｕｒｅｅｒｒｏｒｏｆＣＧＨｓｕｂｓｔｒａｔｅｄｉｒｅｃｔｌｙｒｅｓｔｒｉｃｔｓｔｈｅｔｅｓｔｉｎｇｐｒｅ ｃｉｓｉｏｎ．ＩｎｏｒｄｅｒｔｏｇａｉｎｕｌｔｒａｐｒｅｃｉｓｉｏｎＣＧＨｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ，ｔｈｅｆｉｇｕｒｉｎｇｏｆｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎＣＧＨｓｕｂｓｔｒａｔｅｓｂｙｉｏｎ ｂｅａｍｉｓｐｒｅｓｅｎｔｅｄ．ＡｓｑｕａｒｅｆｕｓｅｄｓｉｌｉｃｏｎＣＧＨｓｕｂｓｔｒａｔｅｗｉｔｈ１５２ｍｍｓｉｄｅｌｅｎｇｔｈ（１４０ｍｍｖａｌｉｄａｐｅｒｔｕｒｅ） ａｎｄ６３５ｍｍｔｈｉｃｋｎｅｓｓｉｓｆｉｇｕｒｅｄｂｙｄｉｆｆｅｒｅｎｔｓｃａｌｅＩＢＦｒｅｍｏｖａｌｆｕｎｃｔｉｏｎｓ．Ｔｈｒｏｕｇｈｓｅｖｅｎｉｔｅｒａｔｉｏｎｓ，ａｎｕｌｔｒａ ｐｒｅｃｉｓｉｏｎＣＧＨｓｕｂｓｔｒａｔｅｗｉｔｈｔｒａｎｓｍｉｔｔｅｄｗａｖｅｆｒｏｎｔＰＶｖａｌｕｅ２０７７９ｎｍａｎｄＲＭＳｖａｌｕｅ０６８５ｎｍｉｓｇａｉｎｅｄ