扫描电镜扫描电镜的特点和工作原理自从-中国显微图像网.PDFVIP

4.3 扫描电镜　 4.3.1 扫描电镜的特点和工作原理　 自从1965 年第一台商用扫描电镜问世后，它得到了迅速发展。其原因在于扫描电镜弥补 了透射电镜的缺点，是一种比较理想的表面分析工具。透射电镜目前达到的性能虽然很高， 如分辨本领优于 0.2～0.3nm，放大倍数几十万倍，除放大成像外还能进行结构分析等，但其 有一个最大的缺点就是对样品要求很高，制备起来非常麻烦。而且，样品被支撑它的铜网蔽 住一部分，不能进行样品欲测区域的连续观察。扫描电镜则不然，它可直接观察大块试样， 样品制备非常方便。加之扫描电镜的景深大、放大倍数连续调节范围大，分辨本领比较高等 特点，所以它成为固体材料样品表面分析的有效工具，尤其适合于观察比较粗糙的表面如材 料断口和显微组织三维形态。扫描电镜不仅能做表面形貌分析，而且能配置各种附件，做表 面成分分析及表层晶体学位向分析等。　 扫描电镜的成像原理，和透射电镜大不相同，它不用什么透镜来进行放大成像，而是象 闭路电视系统那样，逐点逐行扫描成像。 　 图4.55 扫描电镜工作原理 图4.55 是扫描电镜工作原理示意图。由三极电子枪发射出来的电子束，在加速电压作用 下，经过 2～3 个电子透镜聚焦后，在样品表面按顺序逐行进行扫描，激发样品产生各种物理 信号，如二次电子、背散射电子、吸收电子、X 射线、俄歇电子等。这些物理信号的强度随 样品表面特征而变。它们分别被相应的收集器接受，经放大器按顺序、成比例地放大后，送 到显像管的栅极上，用来同步地调制显像管的电子束强度，即显像管荧光屏上的亮度。由于 供给电子光学系统使电子束偏向的扫描线圈的电源也就是供给阴极射线显像管的扫描线圈的 电源，此电源发出的锯齿波信号同时控制两束电子束作同步扫描。因此，样品上电子束的位 置与显像管荧光屏上电子束的位置是一一对应的。这样，在长余辉荧光屏上就形成一幅与样 品表面特征相对应的画面——某种信息图，如二次电子像、背散射电子像等。画面上亮度的 疏密程度表示该信息的强弱分布。 　 4.3.2 扫描电镜成像的物理信号　 如上所述，扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的。具有一 定能量的电子，当其入射固体样品时，将与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射 过程，激发固体样品产生多种物理信号( 图4.56) 。现将扫描电镜(包括电子探针仪)常用的各种 物理信号讨论如下：　 1 图4.56 入射电子轰击样品产生的物理信号 图4.57 电子能谱 (1)背散射电子 背散射电子是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子，又叫做反射电子或初级背 散射电子。它又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子，前者是指只受到原子核单次或很少 几次大角度弹性散射后即被反射回来的入射电子，能量没有发生变化；后者主要是指受样品 原子核外电子多次非弹性散射而反射回来的初级电子。 (2)二次电子 二次电子是被入射电子轰击出来的样品核外电子，又称为次级电子。 如果在样品上方装一个电子检测器来检测不同能量的电子，结果如图 4.57 所示。材料不 同的电子能谱具有相似的形式。图4.57 所示的电子能谱说明，二次电子的能量比较低，一般 小于 50eV；背散射电子的能量比较高，其约等于入射电子能量 E0 ；在二次电子峰和弹性背 散射电子峰之间存在着由非弹性背散射电子组成的背景，在背景上可看到一些微弱的特征能 量俄歇电子峰和特征能量损失电子峰。　 (3)吸收电子　 吸收电子是随着与样品中原子核或核外电子发生非弹性散射次数的增多，其能量和活动 能力不断降低以致最后被样品所吸收的入射电子。在样品与地之间接一灵敏度高的电流表， 即可观察到样品所吸收的电子强度，所以吸收电子又叫做样品电流。　 (4)透射电子　 透射电子是入射束的电子透过样品而得到的电子。它仅仅取决于样品微区的成分、厚度、 晶体结构及位向等。　 2