MiniaturizedfiberinlineFabry–Perot译文-微型光纤内嵌Fabry–Perot干涉仪.docVIP

飞秒激光在光纤中加工微型Fabry - Perot干涉仪 魏涛，韩玉坤，蔡海伦，肖海（音译） 1 密苏里理工大学 电气与计算机工程系 1870 Miner Circle, Rolla, Missouri 65409-0040, USA 2 密苏里理工大学 机械与航空工程系 1870 Miner Circle, Rolla, Missouri 65409-0040, USA 通讯作者：xiaoha@mst.edu 07年11月6日完成，2008年1月25日修订，2008年2月1日收稿，2008年2月11号发布（文件编号89498）；2008年3月5日发表。 我们报告一个飞秒激光在单模光纤中加工一个嵌入式的Fabry - Perot干涉仪。该装置有16dB的损失和干扰，能见度超过14 dB.装置被测试，并在高达1100 °C的条件下的工作。拥有一个容易获得的腔和全玻璃结构，新器件在高温恶劣环境下的应用是很有吸引力的。? 2008美国光学学会 卷期代码：050.2230，060.2370，120.3180。 光纤法布里一珀罗（FP）干涉传感器已经在过去的各种场合有着良好的表现。而且，FP腔可以是内在的（例如，光纤两种介质镜）或外部（例如，两个裂光纤端面）气隙部分。在FP腔两端的两个表面反射形成一个反映腔的长度和折射率功能的干扰信号。在腔内由于环境的变化变形导致的干涉条纹的相移。因此，光纤FP传感器能够测量各种参数，包括温度，压力，应变，音响和流动。因为有诸如体积小，抗电磁干扰（EMI），耐腐蚀的优势，这些纤维FP传感器对恶劣环境下的应用尤其有吸引力。 在过去已经有多种方法被提出用来制造外在的光纤FP传感器，从早期环氧树脂的组装到近期的融合为基础的CO2激光组装[3]或电弧熔接机。这些方法涉及复杂的多个组件装配在一起的程序。腔长在每个不同的设备中变化，其性能无法预料或控制。多个部分的组装也损害了由于接头强度有限导致的装置的稳定性。各个部分热膨胀各地系数（CTE）的不匹配也会严重降低装置的热稳定性。结果，装置表现出了在高温下有限的生存能力。 飞秒激光技术的最新进展已经开辟了拥有三维（3D）结构的微器件的一步制造的机会之窗。 大部分固体材料（包括熔融的石英玻璃）在极端剧烈的飞秒激光脉冲的照射下引起在焦点处的电子等离体的形成，从而导致了一层薄薄的材料消融。由于激光脉冲时间比热化时间短，因此极高功率峰值的飞秒激光脉冲几乎不会对材料产生热化伤害。由于这些激光脉冲加工活动的多光子性质，消融过程可以被控制在材料的表面及材料其他大部分地方进行。飞秒激光器已成功地被用于直接写光波导和在玻璃中进行显微机械加工微通道和微空间。 在本文中,我们报告了一个新型的拥有利用飞秒激光在单模光纤中进行的一步显微机械加工微刻痕形成的开放腔的一个光纤内联FP干涉仪（FPI）结构。该器件具有全玻璃结构，不涉及多个组件装配。因此，我们预计该装置将能够在非常高的温度下工作。此外，容易获得的FP腔使得该装置可能被用做基于折射率测量的超小型化学传感器。 该设备的加工时利用综合飞秒激光三维显微机械加工系统来实现的，如图1所示。重复率，中心波长和飞秒激光脉冲宽度分别为1千赫，800纳米和120飞秒。飞秒激光的最大输出功率为1瓦，我们使用了波片和偏振片组合，以降低激光功率为20毫瓦左右，然后用几个中性密度（ND）过滤器，以进一步减少激光功率达到理想值。经过衰减的激光束直接射入一个0.45数值孔径（NA）的物镜里（奥林巴斯UMPLFL 20倍），然后聚焦在一个安装在一个由电脑控制的分辨率达到1微米的5轴操作台上的单模光纤上。 图1飞秒激光加工的光纤内嵌式FPI装置虚拟系统图 在制造过程中，光纤FP设备的干扰信号是被连续监测的。一个可调谐激光源（惠普8168E）是连接到3分贝的光纤耦合器输入口之一。该耦合器输出端口，是连接到在制造过程中的设备。由计算机控制，可调谐激光不断以1纳米率每一步扫描其波长范围(1475–1575 nm)。装置在每一波长距离的反射的信号由光功率计（安捷伦8163A）记录。在良好的加工图样被记录后，加工工程停止。 图2显示了加工后的光纤FP装置的示意结构和扫描电子显微镜(SEM)下的图像。图2（b）显示了光纤上形成微刻痕。图2（c）显示了飞秒激光烧蚀表面。腔的长度从扫描电镜图像上估计为30微米。消融深度约为72微米，仅仅通过光纤的核心。而且，FP腔可非常接近（在数百微米范围内）光纤的末端。在这样的弯曲短臂中，弯曲诱导的装置破损的机会很小。 图2 结构示意图和SEM图像，（a）结构示意图，（b）顶视图，（c）剖面图 图3显示了一个由飞秒激光焊接的内嵌光纤FPI设备的的干扰频谱。这个特殊装置的背景损失约为16分贝。这