Phoenix L300i 中文操作说明书.pdf

PHOENIX L300i 氦质谱检漏仪 操作说明书 10218_002 产品号： 仅供参考，如有疑义以英文说明书为准 1 10218_002 © Oerlikon Leybold Vacuum 目 录 重要的安全信息 1. 描述8 1.1 功能设计9 1.1.1 PHOENIXL300i 真空流程图解 10 1.1.2 PHOENIXL300i dry 真空流程图解 11 1.1.3 PHOENIXL300i Modul 真空流程图解 12 1.1.4 真空法 13 1.1.5 分流法 13 1.1.6 吸枪模式 14 1.2 设备提供 14 1.3 技术参数 15 1.3.1 PHOENIX L300i 技术参数 15 1.3.2 PHOENIX L300i DRY 技术参数 17 1.3.3 PHOENIX L300i MDOUL 技术参数 19 1.3.4 外形尺寸图21 1.4 订货信息24 1.5 附件 24 1.6 默认值设置26 2.安装28 2.1 外观检查28 2.2 应用限制28 2.3 环境条件28 2.4 电气连接28 2.4.1 系统供电28 2.4.2 控制器和附件的连接30 2.4.3 真空连接33 3 运行35 3.1 介质兼容性/气镇35 3.2 启动35 3.2.1 显示35 3.2.2 启动模式下的显示36 3.2.3 待机模式下的显示36 3.2.4 气镇/ 吹扫36 3.2.5 测量模式下的屏幕36 3.2.6 校准37 2 10218_002 © Oerlikon Leybold Vacuum 3.2.7 扬声器音量37 3.2.8 状态显示37 3.2.9 柱状图的显示模式38 3.2.10 趋势图显示模式38 3.3 首次运行检查38 3.4 控制面板40 3.5 接口45 3.6 操作52 3.6.1 主菜单53 3.6.2 视图55 3.6.3 标尺线性/对数55 3.6.4 显示范围 自动/手动56 3.6.5 时间轴57 3.6.6 对比度57 3.6.7 待机模式下的本底58 3.6.8 显示下限58 3.7 模式59 3.8 触发器和报警60 3.8.1 触发电平1 60 3.8.2 触发电平2 61 3.8.3 触发电平3 61 3.8.4 单位61 3.8.5 音量62 3.8.6 报警延迟62 3.8.7 音频报警类型63 3.9 校准64 3.10 设置65 3.10.1 真空设置66 3.10.2 过滤器和本底74 3.10.3 质量76 3.10.4 杂项（语言，校准要求，服务间隔…）76 3.10.5 参数的保存/载入79 3.10.6 监视功能79 3.11 信息83 3.11.1 维护83 3 10218_002 © Oerlikon Leybold Vacuum 3.12 访问控制84 3.12.1 清零84 3.12.2 访问校准功能85 3.12.3 修改菜单—PIN 85 3.13 校准85 3.13.1 引言85 3.13.2 校准程序86 3.13.3 内部校准86 3.13.4 外部校准87 3.14 停机/关机89 4 设备维护90 4.1 安全信息90 4.2 维护周期90 4.3 欧瑞康莱宝真空服务90 4.4 维护工作91 4.4.1 拆开PHOENIX L300i 91 4.4.2 更换过滤网92 4.4.3 换油93 4.4.4 清洁93 4.4.5 更换熔断器93 4.4.6 排气过滤器95 4.4.7 涡轮分子泵95 4.5 校准漏孔TL796 4.5.1 技术参数96 4.5.2 标准漏孔校准96 5 故障查找97 5.1 故障提示97 5.2 错误和警告信息列表97 6 废料处理 104 4 10218_002 © Oerlikon Leybold Vacuum 重要安全信息 防止危及各种人身伤害的有关规程。 警告 正确操作或使用的有关规程，否则会造成设备事故或轻微损坏。