对微粒污染进行清洁度分析.PDFVIP

/science-lab/quality-assurance/cleanliness-analysis-in-relation-to-particulate- contamination/ 对微粒污染进行清洁度分析 基于显微镜的测量系统实现自动颗粒分析 1 2 1 1 Yvonne Holzapfel James DeRose 博士 Guido Kreck Markus Rochowicz 博士 德国斯图加特市清洁度技术、超洁净技术和精微制造部门，弗劳霍恩制造工程与自动化学会 徕卡显微系统 很多行业所制造的设备、产品及其部件对污染都是极其敏感的，因此，它们对于清洁度有着 非常严格的要求。因此，人们追求具备自动颗粒分析功能的测量系统，对产品和部件的清洁 度进行定量检验，从而满足汽车制造业、航空、微电子、制药和医疗设备等行业的要求。本 文探讨了使用基于显微镜的测量系统实现自动化颗粒分析的情况。 介绍 颗粒是主要污染物：工业领域对清洁度提出要求 针对交通运输（汽车/卡车、航空/航天、铁路）、微电子（集成电路、印刷电路板、半导 体），以及医疗卫生（制药和医疗设备）等行业所生产的污染敏感型产品及其部件，为提高 其性能、可靠性并延长使用寿命，人们对这些产品及其部