Microstructure, optical surface, nanometer scale, nanometer scale, ultra precision machining process微结构光学表面纳米亚纳米尺度超精密加工工艺研究.pdf

微结构光学表面纳米/亚纳米尺度超精密加工工艺研究 中文摘要 取样光栅是超强超快激光研究中，对强激光能量进行分束取样测量的最有效手 段。 取样光栅衍射效率均匀性 RMS 是衡量其优劣的重要指标。本文围绕取样光栅衍 射效率的特点以及如何提升衍射效率均匀性开展理论和实验研究。主要包含以下几方 面内容： 首先介绍了提高取样光栅衍射效率均匀性的意义，以及国内外在取样光栅研制方 面和光学表面精密加工方面取得的一些进展和研究成果。 理论分析方面，利用严格耦合波理论对光栅的衍射效率进行了分析研究，对 TE 波的衍射效率进行了公式推导，得出其衍射效率的表达式；利用 Matlab 编制的衍射 效率数值计算程序，给出了光栅槽形参量变化下光栅的衍射效率分布。 重点开展了微结构光学表面纳米/亚纳米尺度超精密加工工艺研究。采用柔性方 式，对光栅微结构表面进行纳米/亚纳米尺度研磨加工。开展了相关工艺实验，对加 工前后光栅的衍射效率、表面形貌的变化进行了检测和分析，获得了柔性研磨加工方 式下光栅微结构表面去除函数的初步模型，并进行了相关实验验证，对实验结果进行 了误差分析。验证实验结果表明了用毛笔作为磨头对微结构表面进行纳米/亚纳米尺 度研磨加工方法的可行性和有效性。 关键词：取样光栅、衍射效率均匀性、微结构表面、柔性、纳米\亚纳米尺度、 超精密、研磨 作 者：丁晓亮 指导教师：陈新荣 I Research of Micro-structural Optical Surface Ultra-precision Machining Process in Nanometer/Sub-nanometer Scale Abstract In the research of ultrahigh intensity and ultrafast laser, beam sampling grating (BSG) is the most effective means for the high intensity laser energy’s beam splitting, sampling, and measuring. The diffraction efficiency uniformity RMS is the key standard for BSG. In this thesis, we carry out theoretical and experimental research on the characteristic of BSG diffraction efficiency and how to improve the diffraction efficiency uniformity. The main content are as follows: Firstly, the significance of the improvement of BSG diffraction efficiency uniformity, the research abroad and home of the precision machining on optical surface and BSG’s design and manufacture are presented. At the theoretical analysis, we analyze grating diffraction efficiency on rigorous coupled-wave theory (RCWT), deduce the formula of the diffraction efficiency of TE wave and get its expression, gi