以网印法涂布SnO2于氧化铝基板上并应用于气体感测器上之应用.PPT

五、結果與討論 基板薄膜燒結，在逢甲以1200度C下做燒結，此溫度太高，會影響SnO2的吸附能力。 關於這支電位式感測器它的工作溫度在550度C以下就不準了，所以SnO2薄膜的工作溫度低於550度C以下，則這支電位式感測器的參考性並不佳的。 24 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 以網印法塗佈SNO2粉末於氧化鋁基板上並應用於氣體感測器上之應用 指導老師:王聖璋 老師 研究生:楊庭維 地點:逢甲大學 材料科學與工程學系 日期:99/08/09 ~ 99/08/13 大綱 一、氣體製備流程 二、氣體感測裝置介紹 三、氣體感測製作之元件製備 四、氣體感測製作之偵測氣體步驟 五、結果與討論 一、氣體製備流程 1 二、氣體感測裝置介紹(一) 1.管型爐 4.氣體管路 5.氣體流量控制器 2.電位擷取器 6.電阻紀錄器 3.交流阻抗分析儀 整套設備實景 2 二、氣體感測裝置介紹(二) 整套設備示意圖 3 各裝置之介紹-管型爐(一) 功能: 置入石英管，基板置於石英管裡以偵測氣 體用，可加熱至1200度C。 -石英管兩側各有不同的感測裝置以下將介紹到。 4 各裝置之介紹-管型爐(二) ．石英管之左側 作用: -測管內溫度 -測電位差 -氣體輸出 石英管左側示意圖 5 各裝置之介紹-管型爐(三) ．氧化鋯管內部 作用: -測參考氣體與 待測氣體之電 位差。 氧化鋯管內部示意圖 6 各裝置之介紹-管型爐(四) ．石英管之左側 作用: -測基板之電阻值 -通氣體 石英管右側示意圖 7 各裝置之介紹-電位擷取器 型號:KEITHLET 2000 功用:擷取待測氣體與參考氣體的電位差， 經過電位差公式可求出待測氣體之氧 分壓。 8 各裝置之介紹-交流阻抗分析儀 型號:(LIND BERG BLUE M) UP-150 (1組16段式溫度控制) 森積科技 功用:設定管形爐爐內之溫度。 9 三、氣體感測製作之元件製備-1.製作膠體 · 所需物品: -乙基纖維素 Ethyl cellulose (ALDRICH) Ethoxy content 48% -松油醇C10H18O (TERPINEOL，PRATICAL (MIXEDISOMERS) CAS NO:98-55-5 · 製作方法: 乙基纖維素 + 松油醇 比例: 6%(約0.42g) : 94%(6.58g) 共7g ＊混合於燒杯，用保鮮膜 密封，置於加熱器上加 熱，加熱到變膠體即可。 10 三、氣體感測製作之元件製備-2.混合膠體與粉末 膠體 + 粉末 比例: 60%(約0.16g) : 40%(約0.10g) 共0.26g 分別滴於樣品罐內，會混合成白色糊狀膠體。 11 三、氣體感測製作之元件製備-3.網印(一) 網版: 氧化鋁基板: 電極 電極材質:白金Pt 99.95% 基板材質: 氧化鋁 ＊覆蓋基板並網印 12 三、氣體感測製作之元件製備-3.網印(二) 所需物品: 矽膠塊: 白色糊狀膠體: 粉末與膠體混合之產物。 ＊網板上塗佈膠體用 13 三、氣體感測製作之元件製備-3.網印(三) 製作方法: (一)、將基板至於膠帶上，然後網版置於基板上 ，並對齊電極的地方。 14 三、氣體感測製作之元件製備-3.網印(四) (二)、將粉末與膠體混合成之白色糊狀膠體塗佈於電極左 邊，以矽膠塊把膠體往右從電極上塗佈過去。 15 三、氣體感測製作之元件製備-3.網印(五) (三)、塗佈過後，把基板從網版上取下來，拿去烤乾(烤乾即可) ＊塗佈白色糊狀膠體 烤乾 在一次塗佈 此步驟須重複四次至五次(愈多次塗佈就愈厚)。 烤乾 網版 16 三、氣體感測製作之元件製備-4.煆燒 網印完成之後，把基板拿去熱處理爐加熱，升溫至500度C，持溫5小時即可。 目的: 使材料內部某些成分產生熱解離，將附著在 電極上的多餘膠體去除。 17 三、氣體感測製作之元件製備-5.燒結 放進高溫燒結爐 (逢甲以1200度進行燒結)，持溫2 小時。 目的: 讓要燒結之粉末緻密化，分子間連結性更好。 結果: 1200度燒結溫度對SnO2過高，須找出適當的溫度來 做燒