光学元件的激光损伤阈值测量.pdfVIP

第35卷第2期 红外与激光工程 2006年4月 V01．35No．2 m丘a1．edandLaser Apr．20016 Enginee血g 光学元件的激光损伤阈值测量4 胡建平，马平，许乔 (成都精密光学工程研究中心，四川成都610041) 摘要：激光损伤阈值的准确测量是研究高抗激光损伤光学元件的必要条件。分析了激光诱导损 伤阈值的不确定度来源，包括激光能量测量、光斑有效面积测量、各能量密度处几率的计算以及对损 伤几率点进行直线拟合4个方面。利用统计学原理和线性拟合等理论对不确定度分量及测试结果的 相对合成不确定度进行了理论推导和计算。1064姗高反薄膜样品的实例分析表明，损伤阈值测量 的相对合成不确定度为18．72％。 关键词：激光损伤； 阈值测量； 不确定度 中图分类号：T