日立冷场发射扫描电镜观测电池隔膜材料的参数设定.PDF

Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 日立冷场发射扫描电镜观测电池隔膜材料的参 数设定 中国的锂离子电池行业近几年在迅猛发展，国内出现一大批掌握核心制造技术的电 池原材料生产厂家。电池隔膜﹝separation film ﹞在锂电池结构中是关键的内层组件之 一，作为隔离正负电极的装置放置于两极之间，能够让电解质离子通过，又能避免两极 上的活性物质直接接触而造成短路。电池隔膜一般是用高分子材料 PE （聚乙烯）或PP （聚丙烯）来制备，孔径大小通常在10nm 至 300nm 左右。 扫描电镜是用来检测电池隔膜孔径大小和孔洞分别是否均匀的常用仪器，为达到观 测要求，图像放大倍率通常需要达到 2 万倍至 10 万倍甚至更高。不同材质和生产工艺 （单向或双向拉伸，干法或湿法等）的电池隔膜在导电性方面有所差异，但作为绝缘高 分子材料，直接放入扫描电镜下观察都有一定难度。采用离子溅射仪喷镀的方法，能够 解决电池隔膜在扫描电镜观测过程中放电的问题，但溅射 Au、Pt 等重金属离子的过程 中也有可能损伤和改变隔膜样品的原始形貌。采用场发射扫描电镜在不对电池隔膜喷镀 的情况下直接观察原始真实形貌，必须解决图像放电和电子束对样品的热损伤问题，其 中设定扫描电镜参数非常重要，主要涉及到加速电压、探针电流和扫描模式。这三个参 数需要找到平衡点，加速电压的设定原则是电子束打在样品上的加速电压（着陆电压） 越低，图像放电和样品损伤越小，但分辨率也会相应降低；探针电流的设定原则是电子 束打在样品上的探针电流越小，图像放电和样品损伤越小，但图像信噪比也会相应降低； 扫描模式的设定原则是电子束停留在样品上每扫描点时越少，图像放电和样品损伤越 小，但图像信噪比也会相应降低。 参数设定在不同型号的场发射扫描电镜操作不同，但大致方法和原则是类似的，本 文采用的是日立 S-4800 和 SU8010 冷场发射扫描电镜，电池隔膜样品是没有经过喷镀 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 直接采用低加速电压和低束流观察，放大倍率为 2 万倍至 30 万倍。 首先看几张电池隔膜在扫描电镜图像放电和受到电子束损伤的照片。 图 1 图像严重放电，电镜参数加速电压 1kV ，扫描模式Slow 40s 1kV 的加速电压对于扫描电镜来说已经属于低加速电压了，另外图 1 中电镜参数设 定为发射束流设定为 10μA ，Probe current 设定为 normal ，聚光镜C1 值为 5 ，扫描 模式为 40 秒 Slow 模式，放大倍率 3 万 5 千倍，但图像严重放电，连样品的基本特征 形貌都无法获得。 日立S-4800 拍摄图片有几种方式。1、Slow 模式：逐点逐行扫描，可选 20 秒、 40 秒、80 秒等，优点是图像清晰度最高，缺点是不导电样品容易放电。2、积分 （Integration ）模式：通常选用快速扫描TV 模式或 FAST 模式下叠加 2 的 N 次方帧 数，适用于荷电现象不严重的情况，即 FAST 模式下没荷电而 SLOW 模式下有荷电，优 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 点是不导电样品不容易放电，缺点图像边缘清晰度不好。3、CSS 模式：原理大致是线 平均快速扫描，对于有轻微荷电的样品非常有效，既能够保证足够的清晰度又可以减轻 甚至消除荷电现象，当然对导电性好的样品还是建议用 SLOW 模式拍照，CS Scani