机械与电子工程学院23电容式传感器.PPT

2.3 电容式传感器 2.3.1 电容式传感器工作原理 2.3.2 电容式传感器等效电路 2.3.3 电容式传感器测量电路 2.3.4 电容式传感器应用 2.3 电容式传感器 2.3.1 电容式传感器工作原理 2.3.2 电容式传感器等效电路 2.3.3 电容式传感器测量电路 2.3.4 电容式传感器应用 一、电容式传感器等效电路 2.3 电容式传感器 2.3.1 电容式传感器工作原理 2.3.2 电容式传感器等效电路 2.3.3 电容式传感器测量电路 2.3.4 电容式传感器应用 一、调频式测量电路 一、调频式测量电路 二、运算放大器测量电路 二、运算放大器测量电路 三、二极管双T形交流电桥 三、二极管双T形交流电桥 三、二极管双T形交流电桥 三、二极管双T形交流电桥 五、脉冲宽度调制测量电路 五、脉冲宽度调制测量电路 五、脉冲宽度调制测量电路 五、脉冲宽度调制测量电路 2.3 电容式传感器 2.3.1 电容式传感器工作原理 2.3.2 电容式传感器等效电路 2.3.3 电容式传感器测量电路 2.3.4 电容式传感器应用 一、电容式压力传感器 二、电容式加速度传感器 三、电容式称重传感器 四、电容式传感器其他应用 考虑了电容器的损耗和电感效应，电容式传感器的等效电路。 §2.3.2 电容式传感器等效电路 根据等效电路，电容式传感器有一个谐振频率，通常为几十兆赫。当工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏传感器正常作用。因此，工作频率应该选择低于谐振频率。 并联损耗电阻Rp： 表示极板间的泄漏电阻和介质损耗。并联损耗低频时影响大，随着工作频率增高，容抗减小，影响就减弱。 串联损耗电阻Rs： 引线电阻、电容器支架和极板电阻的损耗。 电感L： 电容器的电感和外部引线电感。 与电感传感器不同，电容传感器中电容值和电容变化量都十分微小，难以直接为仪表所显示和记录。 因此，需要一些测量电路检测出电容的微小变化量，并转换成相应的电压、电流或频率输出。 §2.3.3 电容式传感器测量电路 常用测量电路： 调频电路、运算放大器电路、二极管双T形交流电桥、环形二极管充放电电路、脉冲宽度调制电路等。 Cx Δf 振荡器 Δu Δf 限幅 放大器 Δu L 鉴频器 调频测量电路中电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分, 当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。 若用频率直接作为测量系统的输出量，来判断被测非电量的大小，具有非线性、不易校正等问题。 因此，加入鉴频器，频率变化转换为电压振幅变化来输出。 调频振荡器的振荡频率为 §2.3.3 电容式传感器测量电路 调频测量电路具有较高的灵敏度， 可测量高至0.01μm级位移变化量。 信号输出频率易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强， 可实现遥测遥控。 当被测信号不为0时，ΔC≠0，振荡器频率变化为 振荡回路的总电容，C=C1+C2+Cx，C1为振荡回路固有电容, C2为传感器引线分布电容, Cx=C0±ΔC为传感器的电容。 当被测信号为0时，ΔC=0，则振荡器有一个固有频率为 运算放大器的放大倍数大，输入阻抗高, 可作为电容式传感器的理想测量电路。 §2.3.3 电容式传感器测量电路 运算放大器电路输出电压为 测量电路输出电压的相位与电源电压的反相。 设Cx为电容式传感器电容；Ui是交流电源电压; Uo是输出信号电压; Σ是虚地点。运算放大器输入电流可认为零，根据克希荷夫定律有 平行平板电容传感器，则 §2.3.3 电容式传感器测量电路 实际上运算放大器测量电路仍然存在一定的非线性。 为保证仪器精度，除了要求运算放大器阻抗和放大倍数足够大外，还要求电源电压的幅值和固定电容值非常稳定。 运算放大器的输出电压与极板间距离成线性关系。 在运算放大器的放大倍数和输入阻抗无限大的条件下，运算放大器电路解决了变极距型电容传感器的非线性问题。 二极管双T形交流电桥电路中，e为高频电源，提供了幅值为U的对称方波，VD1、VD2为特性完全相同的两只二极管，R1、R2为阻值相等的两个固定电阻，C1、C2为传感器的两个差动电容。 §2.3.3 电容式传感器测量电路 （1）传感器没有输入C1=C2 当e为正半周时，二极管VD1导通、VD2截止，则电容C1被以极短的时间充电至U。在前负半周时，电容C2已经充电至电压U。 1、电路基本结构 2、基本工作原理 §2.3.3 电容式传感器测量电路 （1）传感器没有输入时C1=C2 电源经R1以I1向RL供电，而电容C2经电阻R2和负载电阻RL放电，流过RL的电流为I2。流过RL的总电流IL为I1和I2的代数和。 2、基本工作原理 同理，当e为负半周时，流过负载电阻RL的电流为I’