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使用自激振荡法提高原子力光子扫描隧道组合显微镜的-光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程
１８ ４
Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．４
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２０１０ ４ Ａ ｒ．２０１０
ｐ
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２０１００４０９０６０７
使用自激振荡法提高原子力光子扫描
隧道组合显微镜的扫描速度
王 昭，吴世法，刘 琨
（大连理工大学 物理系 近场光学与纳米技术研究所，辽宁 大连 １１６０２４）
摘要：介绍了采用频率偏移控制样品／探针间距的原子力光子扫描隧道组合显微镜（ ／ ）。制备了尖端直径
ＡＦＰＳＴＭ ＜１００
，锥角为 的锐利大锥角探针用于轻敲自激振荡模式的 ／ ，该探针固定在压电陶瓷片上置于一个正反
ｎｍ ６０ ９０° ＡＦＰＳＴＭ
～
馈回路中激励探针振荡。使用锁相器解调自激振荡探针的频率，调整 方向压电陶瓷的运动使得锁相器检测到的值维
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持恒定来跟踪样品的起伏。对外加激励模式和自激振荡模式进行了对比。理论分析表明，自激振荡方法减小了探针响
应时间；测试试验显示，采用自激振荡模式 ／ 的带宽为 ，比外加振荡模式快一个数量级。采用改进后的
ＡＦＰＳＴＭ ５０Ｈｚ
仪器对光栅样品以１Ｈｚ的速度进行了扫描，扫描结果显示，采用自激振荡的方式得到的形貌和光学图像比外加激励模
式更清晰，不仅响应时间更快，通过提高 值还可以提高分辨率而不会增加系统进入稳态的时间。
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关 键 词：原子力／光子扫描隧道组合显微镜；自激振荡模式；响应时间
中图分类号： 文献标识码：
ＴＨ７４２．９ Ａ
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