基于Hartmann-Shack波前检测原理的微透镜阵列焦距测量.pdfVIP

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2017-10-18 发布于北京
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基于Hartmann-Shack波前检测原理的微透镜阵列焦距测量.pdf

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第2l卷第5期光学精密工程 V01．2lNO．5 andPrecision 2013年5月 Optics Engineering 2013 May 文章编号1004—924X(2013)05一1122—07 基于Hartmann— Shack波前检测原理的微透镜阵列焦距测量朱成昌”，伍凡，曹学东，吴时彬 (中国科学院光电技术研究所，四川成都610209) 摘要：基于哈特曼波前传感器检测原理，结合图像清晰度定焦技术，提出了一种测量微透镜阵列焦距的方法，介绍了测量系统的组成和原理。首先利用平行光管的出射平面波前在被测微透镜阵列焦面上成像，利用标准透镜产生的球面波前在微透镜阵列焦面附近成像。然后，根据平面波前和球面波前经过微透镜阵列成像时微透镜阵列焦面上光斑的偏移量，计算相应的微透镜阵列子单元的焦距。最后，基于图像清晰度定焦技术，通过不确定度分析和实验测量验证了该方法检测微透镜阵列焦距的可行性。测量结果表明，该方法对微透镜阵列焦距检测精度可达到3％；同时，一次测量可完成微透镜阵列多个子单元的焦距标定。相对于传统的检测方法，该方法具有较高的检测精度和效率。关键词：微透镜阵列；焦距测量；波前检测；哈特曼波前传感器；图像清晰度中图分类号：0436．1；TH703文献标识码：A doi：10．3788／OPE1122 Focal measurementof basedon length microlens—array wavefront ofHartmann-Shacksensor testingprinciple ZHU Shi—bin Xian—chang。，WU Fan，CA()Xue—dong，WU (Institute and Electronics，ChineseSciences， ofOptics Academyof 610209，China) Chengdu *Correspo豫ai谊g author，E-mail：zhuJianchang@126．com Abstract：Amethodtomeasurethefocal of length basedon Microlens—Array(MLA)isproposed Hartmann—Shackwavefront measurementandtheFocus principle Determiningby TechniqueImage Definition(FDTID)．Theofthemeasurement