ch7 薄膜生是长过程.pptVIP

3. 织构薄膜 晶粒之间有固定取向关系 有单轴和双轴取向 不同晶粒之间有晶界 晶界处原子能量较高，排列不规则 杂质原子易沿晶界扩散 4. 外延薄膜 晶粒之间有严格的取向关系 不同晶粒之间可能有晶界 晶界处原子排列比较规则 要求薄膜材料晶格与基体相配 6.5.2 外延生长 ? 1.? 简介 ???(epi – placed or resting upon) ?????(taxis – arrangement) - Extended single-crystal film formation on top of a crystalline substrate - Homoepitaxy : Film and substrate are the same material. free of defects purer than the substrate doping layers independent of the wafer - Heteroepitaxy : Film and substrate are the different material. Si on Insulation (SOI) : 3-D IC