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湿度传感器 研1207 光学工程 柴雪峰 1208030277 第一章 背景和湿度概念 2 1.1背景 2 1.2绝对湿度(AH) 2 1.3相对湿度(RH) 3 第二章 常用的湿度传感器 4 2.1湿敏元件 4 2.1.1湿敏电阻 4 2.1.2 湿敏电容 4 2.2 新型湿度传感器 5 2.2.1 电解质湿度传感器 5 2.2.2 高分子材料湿敏传感器 6 2.2.3 半导体陶瓷湿度传感器 7 2.2.4 氯化锂湿度传感器 9 2.2.5 氧化铝湿度计 9 第三章 光学湿度传感器 10 3.1光学湿敏薄膜材料 10 3.1.1 电解质型湿敏材料 10 3.1.2 半导体陶瓷材料 11 3.1.3 有机物及高分子聚合物湿敏材料 11 3.2 湿敏薄膜的制备方法 12 3.2.1 真空蒸镀法 12 3.2.2 溶胶-凝胶法 12 3.2.3 其他方法 12 3.3光学湿敏检测方法 13 3.3.1 平面光波导法 13 3.3.2 光导纤维法（光纤法） 13 3.3.3 聚合物光学法 14 3.4 光学湿度传感器的最新进展 14 3.4.1 光纤法 15 3.4.2 光学干涉法 17 3.4.3 光学衍射法 17 3.4.4 荧光效应 18 3.4.5光学反射法 19 3.5集成湿度传感器 20 第四章 发展趋势 21 参考文献 23 第一章 背景和湿度概念 1.1背景 很多行业中，如发电、纺织、食品、医药、仓储、农业等，对温度、湿度参量的要求都非常严格。目前，在低温条件下(通常指100oC以下)，湿度的测量已经相对成熟，有商品化产品，并广泛应用于各种行业。另有许多行业需要在高温环境下测量湿度，如航空航天、机车舰船、发电变电、冶金矿山、计量科研、电厂、陶瓷、工业管道、发酵环境实验箱、高温实验箱、高炉等场合。这时，湿度测量结果往往不如低温环境下的测量结果理想。另外，在恶劣条件下工作，例如气流速度、温度、湿度变化非常剧烈或测量污染严重的工业气体时，将使精度大大降低[1]。 空气的干湿程度叫做湿度，常用绝对湿度、相对湿度、比较湿度、混合比、饱和差以及露点等物理量来表示。通常空气的温度越高，最大湿度就越大。 1.2绝对湿度(AH) 绝对湿度是一定体积的空气中含有的水蒸气的质量，单位是g/m3，它的极限是饱和状态下的最高湿度。绝对湿度只有与温度联系起来才有意义，因为空气中湿度随温度而变化。计算绝对湿度的公式为 式中e-蒸汽压，单位Pa；-水的气体常数为461．52J/(kg·K)；T-温度，单位K；m-空气中溶解的水的质量，单位g； V-空气的体积，单位m3。 1.3相对湿度(RH) 相对湿度是绝对湿度与最高湿度的比值，表示水蒸气的饱和度。相对湿度为100％的空气就是水蒸气饱和的空气。相对湿度同样也与温度联系起来才有意义。通过相对湿度和温度也可以换算出表示温度的其他参数。相对湿度计算如下： 式中-绝对湿度，单位g/m3；，max-最高湿度，单位g/m3；E-饱和蒸汽压，单位Pa；s-比湿，单位g/kg；S-最高比湿，单位g/kg。其他同上。 早期的湿度测量通常用干湿球湿度计和毛发湿度计。前者原理是水蒸发要吸热降温，而蒸发的快慢(即降温的多少)和当时空气的相对湿度有关，这样浸在于湿球内的两支温度计就表示出与湿度相关的温度差。后者原理是脱脂毛发的伸缩随相对湿度值变化，与毛发相连的指针便可在刻度盘上指示空气相对湿度值 。 第二章 常用的湿度传感器 随着科技的进步，用干湿球湿度计或毛发湿度计来测量湿度的方法，早已无法满足现代科技发展的需要。这是因为测量湿度要比测量温度复杂的多，温度是个独立的被测量，而湿度却受其他因素(大气压强、温度)的影响。此外，湿度的标准也是一个难题。国外生产的湿度标定设备价格十分昂贵。 　　近年来，国内外在湿度传感器研发领域取得了长足进步。湿敏传感器正从简单的湿敏元件向集成化、智能化、多参数检测的方向迅速发展，为开发新一代湿度/温度测控系统创造了有利条件，也将湿度测量技术提高到新的水平。—202pF。温度系数为0.04pF/oC ，湿度滞后量为±1.5%，响应时间为5s。 除电阻式、电容式湿敏元件之外，还有电解质离子型湿敏元件、重量型湿敏元件（利用感湿膜重量的变化来改变振荡频率）、光强型湿敏元件、声表面波湿敏元件等。湿敏元件的线性度及抗污染性差，在检测环境湿度时，湿敏元件要长期暴露在待测环境中，很容易被污染而影响其测量精度及长期稳定性。 2.2 新型湿度传感器 现代意义上的湿度传感器的种类有很多，按所用湿敏材料，主要可以分为三类：电解质湿度传感器、半导体陶瓷湿度传感器、有机高分子聚合物湿度传感器[2-5]。 2.2.1 电解质湿度传感器 如LiCl湿度传感器。LiCl是典型的离子晶体，当其溶液置于一定湿度环