1500吨多晶硅工艺说明-烟台建邦化工机械.DOC

1500吨多晶硅工艺说明 1,制H（H2O=H2+O2）电解得到氢和氧，冷却分离再除氧；干燥以后到贮藏，得到纯氢去三方，氧冷分离去氧仓，最后氧气是瓶装。2，HCL合成（H2+CL2=HCL）两股氢气去混仓，然后引至燃烧枪；氯气也到燃烧枪，合成炉设防爆墙；反应生成氯化氢，空冷降温送下场。为了安全有保障，吸收处理不能忘，盐酸循环吃气相，酸碱中和除氯忙。3，SIHCL3合成（SI+HCL=SIHCL3+SICL4+SIH2CL2+H2+X）硅粉来自硅粉仓，脱水HC去炉旁，二者炉内起反应，三氯氢硅藏中央。5种附品也跟上，处理起来人心伤。干法除尘先上场，湿法紧跟来邦忙，增湿洗涤加反应，最终硅尘全消亡。有种附品很重要，四氯化硅送贮藏；废硅粉该去哪里？送出厂外去埋藏。清洁后的合成气，干法分离下一场。这个工序想多讲，牢记里面有吊装，固体输送要通畅，安装维修有地方。4，合成/尾气干法分离（氯硅烷+H2+HCL）干法分离是分相，分出三类派用场；液氯硅烷打循环，多出部分去贮仓，氢气回到老地方，氯化氢至缓冲仓。淋洗压缩加解吸，过程简单不多讲。5，提纯（氯硅烷------ SIHCL3，SICL4）氯硅烷来自两方，两股汇集中间仓；送去提纯用的泵，1塔2塔除低沸，废气处理后排放。高沸3塔来帮忙，三氯氢硅终出场。还有一物务必讲:四氯化硅要外放，5 6 7 塔同功能，详细内容见书上。不忘蒸汽大用量。提纯钢架高又方，8塔排队头在上，组合安装费思量，吊装维修够地方。6，H还原（SIHCL3+H2=SI+SIH2CL2+SICL4+HCL+H2）本工序要出硅棒！关键设备非中方；三氯氢硅前已讲，氢气来源已明朗；二者混合水汽化，送至炉内硅蕊旁；硅棒不停往大长，合格以后吊车装；末反应的再循环，热水大泵记心上。变压电控洁净房，到处都是隔离墙！7，H化（SICL4+H2=SIHCL3+H2S）四氯化硅来前方，氢气来源已明讲；二者混合水汽化，送至炉内电极旁；两个炉内起反应，三氯氢硅又出场；末反应的再循环，热水系统不可忘。8，氯硅烷贮存氯硅烷是中间商，多种硅贮放地上，不同目的泵发往，建规限量千立方。9，硅蕊制备熔炉拉制制硅蕊，硅蕊安放炉中央；酸洗水洗再干燥，制得硅蕊放堆场。过程废气要处理，分析达标再排放。10，产品整理还原制得多晶棒，截断破碎成块状，酸洗水洗再干燥，多晶产品去包装。过程废气要处理，分析达标再排放。陆海空运上市场，灿灿黄金暖心房！ 多晶硅生产工艺 多晶硅生产工艺? ? 冶金级硅（工业硅）是制造多晶硅的原料，它由石英砂（二氧化硅）在电弧炉中用碳还原而成。尽管二氧化硅矿石在自然界中随处可见，但仅有其中的少数可以用于冶金级硅的制备。一般来说，要求矿石中二氧化硅的含量应该在97～98%以上，并对各种杂质特别是砷、磷和硫等的含量有严格的限制。冶金硅形成过程的化学反应式为：SiO2 + 2C ＝ Si + 2CO。? ? 在用于制造多晶硅的冶金硅中，要求含有99%以上的Si，还含有铁、铝、钙、磷、硼等，它们的含量在百万分之几十到百万分之一千（摩尔分数）不等。而EG硅中的杂质含量应该降到10-9（摩尔分数）的水平，SOG硅中的杂质含量应该降到10-6（摩尔分数）的水平。要把冶金硅变成SOG硅或EG硅，显然不可能在保持固态的状态下提纯，而必须把冶金硅变成含硅的气体，先通过分馏与吸附等方法对气体提纯，然后再把高纯的硅源气体通过化学气相沉积（CVD）的方法转化为多晶硅。目前世界上生产制造多晶硅的工艺技术主要有：改良西门子法、硅烷（SiH4）法、流化床法以及专门生产SOG硅的新工艺。1、改良西门子法? ? 1955年，西门子公司成功开发了利用氢气还原三氯硅烷（SiHCl3）在硅芯发热体上沉积硅的工艺技术，并于1957年开始了工业规模的生产，这就是通常所说的西门子法。在西门子法工艺的基础上，通过增加还原尾气干法回收系统、SiCl4氢化工艺，实现了闭路循环，于是形成了改良西门子法——闭环式SiHCl3氢还原法。改良西门子法的生产流程是利用氯气和氢气合成HCl（或外购HCl），HCl和冶金硅粉在一定温度下合成SiHCl3，分离精馏提纯后的SiHCl3进入氢还原炉被氢气还原，通过化学气相沉积反应生产高纯多晶硅。具体生产工艺流程见图1。改良西门子法包括五个主要环节：SiHCl3合成、SiHCl3精馏提纯、SiHCl3的氢还原、尾气的回收和SiCl4的氢化分离。该方法通过采用大型还原炉，降低了单位产品的能耗。通过采用SiCl4氢化和尾气干法回收工艺，明显降低了原辅材料的消耗。改良西门子法制备的多晶硅纯度高，安全性好，沉积速率为8～10μm/min，一次通过的转换效率为5%～20%，相比硅烷法、流化床法，其沉积速率